公开(公告)号：CN102346105B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201110217908.4

申请日：2011-07-22

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 大槻喜则 ,  篠原政良 ,  花田和郎

IPC: G01N1/22

CPC classification number: G01N33/0026 ,  G01M15/102 ,  G01N15/0618 ,  G01N2001/2255

Abstract: 本发明涉及一种将在测定对象气体流路(12)中流动的测定对象气体的一部分导入并进行分析气体分析装置(3)以及气体分析系统(100)，其设有为了对在测定对象气体流路(12)中流动的测定对象气体进行控制、或确保自身和其它的测定精度，取得从测定对象气体流路(12)被导入的一部分测定对象气体，对该测定对象气体所包含的测定对象物的量等进行测定的对象物测定单元(35)；取得气体流量测定单元(34)，其对所述对象物测定单元(35)所取得的测定对象气体的流量进行测定；气体返回单元(36)，将与所述取得气体流量测定单元(34)所测定的气体流量等流量的其它气体返回到所述测定对象气体流路(12)的分流点的下游侧。

公开(公告)号：CN102362167B

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201080013089.5

申请日：2010-04-02

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 松山贵史 ,  筱原政良 ,  大槻喜则 ,  冈田薰 ,  秋田将伸

IPC: G01N15/06 ,  G01N1/22

CPC classification number: G01N1/2252 ,  G01N2001/2264 ,  G01N2015/0675

Abstract: 根据本发明，可以使粒子数测量系统的构成简单化以及紧凑化的同时，还可以削减成本。本发明的粒子数测量系统包括：设在主流路(ML)和稀释气体流路(DL)的连接点的稀释器(PND2)；对导入到稀释器(PND2)的稀释气体流量进行控制的稀释气体流量控制部(MFC3)；对被稀释的排除气体中的固体粒子数进行测量的粒子数测量装置(2)；从主流路的稀释器(PND2)和粒子数测量装置(2)之间分出、设有定流量器(CFO3)的旁流路(BL3)；连接于主流路(ML)旁流路(BL3)的合流点下游的吸引泵(P)；根据由稀释气体流量控制部(MFC3)控制的稀释气体流量(Q1)、粒子数测量装置(2)的装置流量(Q2)与定流量器(CFO3)的设定流量(Q3)的合计流量，计算出排除气体的稀释率的信息处理装置(4)。

公开(公告)号：CN102589959A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210007970.5

申请日：2012-01-11

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 大槻喜则 ,  筱原政良 ,  花田和郎

IPC: G01N1/38

CPC classification number: G01N1/2252 ,  G01N1/2202 ,  G01N15/065 ,  G01N33/005 ,  G01N2001/2264 ,  Y10T137/2499

Abstract: 本发明为一种临界节流孔型定流量器(CFO1)的特性测定方法，其适用于稀释机构(3)，该稀释机构由串联的稀释单元(31)(32)构成，该特性测定方法尽可能地将用于多段稀释机构的临界节流孔型定流量器的特性测定时的状态接近于使用时的状态，以减少稀释率的误差，对于导出一个稀释单元(31)的剩余的气体的导出流路(E1)，使得稀释单元(31)的稀释用气体和其他稀释单元(32)的稀释用气体的合计流量等于所述一定流量，且使得来自稀释单元(31)的稀释用气体的流量与使用时流量相等，并基于此时的设于该导出流路(E1)的临界节流孔型定流量器(CFO1)的至少上游侧的压力，测定该临界节流孔型定流量器(CFO1)的流量特性。