公开(公告)号：CN108388082A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810104013.1

申请日：2018-02-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 丸山仁 ,  近藤和纪 ,  柳泽秀好

IPC: G03F7/075

Abstract: 本发明为感光性树脂组合物、感光性干膜、感光性树脂涂层和图案形成方法。将包括(A)有机硅改性的聚苯并噁唑树脂和(B)在曝光至波长190至500nm的辐射时分解产生酸的光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基材上，以形成厚涂层，将该涂层曝光至辐射，烘焙，并显影以形成图案。所述树脂涂层能够形成精细图案并且具有改进的耐开裂性和其它膜性质，和可靠性。

公开(公告)号：CN106946815A

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201710008949.X

申请日：2017-01-06

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 柳泉和秀 ,  柳泽秀好

IPC: C07D301/28 ,  C07D303/27 ,  C08G59/38

CPC classification number: C07D301/28 ,  C07D303/27 ,  C08G59/38

Abstract: 本发明涉及芳基化合物及制造方法。本发明中，具有式(1)、用至少三个缩水甘油基和至少三个(甲基)烯丙基封端的芳基化合物是新型的，其中R1为C3‑C20烃，R2为氢或甲基，并且n为3或4。其通过使具有至少三个含有(甲基)烯丙基的酚基的芳基化合物与2‑卤代甲基环氧乙烷反应而制备，