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公开(公告)号：CN109972103B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN201910138645.4
申请日：2019-02-25
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明提供一种宽角太阳能光谱选择吸收薄膜，包括基底、微纳球体、金属反射层、介质干涉层、金属吸收层、介质增透层；所述微纳球体通过匀胶机旋涂在所述基底上；所述金属反射层通过磁控溅射镀制在所述微纳球体上；所述介质干涉层通过磁控溅射镀制在所述金属反射层上；所述金属吸收层通过磁控溅射镀制在所述介质干涉层上；所述介质增透层通过磁控溅射镀制在所述金属吸收层上。本发明还提供了该吸收薄膜的制备方法，通过该方法制备出来的吸收薄膜在较宽的波段内均具有高的吸收率，对入射光具有良好的角度容差；且制备方法简单且适合大面积制备，易于实现工业化生产。
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公开(公告)号：CN110764174A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201911032529.0
申请日：2019-10-28
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明提供的一种介质光栅窄带滤波器，由具有特殊尺寸的光栅沿垂直于光栅平面方向间隔特定距离进行排列而成，由光栅组成的多个反射腔进行窄带滤波；所述窄带滤波器使用时，光由滤波器上方以一定角度射入，经多层光栅滤过后从底部射出，从而实现滤波操作。本发明还包括窄带滤波器的制作方法，在工作波段内实现透射中心波长、中心角度可调节，所设计的器件厚度为亚波长量级，克服了已有窄带滤波器体积质量大、制备难度高的缺点。同时，该滤波器具有极高的反射率，大大降低了噪声信号的干扰；通过调节光栅间沿周期方向的位错，使得透射峰呈现出不同的对称性，沿不同方向获得不同的灵敏度；并且通过级联的方法可以获得多通道输出和平顶带响应等特性。
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公开(公告)号：CN103436844A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310362867.7
申请日：2013-08-19
Applicant: 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 , 中山大学
Abstract: 本发明公开一种低温沉积柔性基材ITO膜镀膜装置及方法，其装置是将可实现正转和反转的基材卷绕机构、离子源和非平衡中频磁控溅射机构分别设于容器体内，离子源设于基材卷绕机构中放卷组件的外侧，非平衡中频磁控溅射机构设于基材卷绕机构中主辊的外侧；容器体外接高真空抽气机构，基材卷绕机构的输入端外接工件输送机构，基材卷绕机构的主辊一端外接冷热交换机构。其方法是：工件输送机构送样；高真空抽气机构对容器体抽真空；基材卷绕机构对柔性基材进行传送时，采用非平衡中频磁控溅射低温沉积柔性基材ITO薄膜。本发明实现了低温沉积较高质量的柔性基材ITO膜，其产品质量高、适用范围广。
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公开(公告)号：CN100419471C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200510036241.2
申请日：2005-08-02
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明涉及光学滤光片领域，目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能够同时实现多个频域滤光和空域滤光的滤光片，并且膜层结构简单，能够适用于现有光学镀膜机。其滤光片的镀膜层结构为：G|(HL)SαM1(LH)S(LH)SαM2(HL)S|A，其中G代表基片，A代表空气，H代表高折射率材料，L代表低折射率材料，s为镀膜周期数，M1、M2分别代表两个间隔层，或称为缺陷层，α为间隔层的光学厚度，其中M1采用高折射率材料H，M2采用低折射率材料L。
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公开(公告)号：CN100414333C
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200610036400.3
申请日：2006-07-07
Applicant: 中山大学
IPC: G02B6/26
Abstract: 本发明涉及光纤通讯领域中用于分波/合波元器件领域，目的在于克服现有技术的缺点，提高一种具有消偏振截止的低偏振相关损耗的单纤三向分波/合波器。结构特点为设有光纤接口、1310nm波段发送器接口、1490nm波段接收器接口和1550nm波段接收器接口；内安装有45度TTR滤光片和45度TRR滤光片，TTR滤光片反射方向正对1550nm波段接收器接口，TRR滤光片反射方向正对1490nm波段接收器接口；在1490nm波段接收器接口内侧安装有0度RTR滤光片，在1550nm波段接收器接口内侧安装有0度RRT滤光片，创造点在于TTR滤光片的镀膜结构为：G(半耦合层 反射层 间隔层 反射层 半耦合层)sA，具有消偏振截至效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1310044C
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200410077775.5
申请日：2004-12-30
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明涉及光纤通讯领域中的滤光片领域，目的在于克服现有技术的缺点，设计一种能满足透过率曲线非常陡峭、插损低，消除偏振影响的单纤三向消偏振截止滤光片。包括基片和镀膜层，镀膜层的膜系结构为：Gl2H{0.5L(HL)30.13H(LH)30.5L }4(2.38H)1(1.41L)1lA，中心波长为1590nm，其中低折射材料为SiO2，高折射率材料为Ta2O5，G代表基片，A代表空气，3或4代表周期数，0.13为失调因子、0.5代表了光学厚度0.5个四分之一中心波长。
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公开(公告)号：CN1632625A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200410077775.5
申请日：2004-12-30
Applicant: 中山大学
Abstract: 本发明涉及光纤通讯领域中的滤光片领域，目的在于克服现有技术的缺点，设计一种能满足透过率曲线非常陡峭、插损低，消除偏振影响的单纤三向消偏振截止滤光片。包括基片和镀膜层，镀膜层的膜系结构为：G|2H{0.5L(HL)∧30.13H(LH)∧30.5L}∧4(2.38H)∧1(1.41L)1|A，中心波长为1590nm，其中低折射材料为SiO2，高折射率材料为Ta2O5，G代表基片，A代表空气，∧3或∧4代表周期数，0.13为失调因子、0.5代表了光学厚度0.5个四分之一中心波长。
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公开(公告)号：CN1556372A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN200310117670.3
申请日：2003-12-31
Applicant: 中山大学
IPC: G01B21/08
Abstract: 本发明涉及光学真空镀膜机的监控系统领域，更具体的说是一种光学镀膜近红外膜厚监控仪。本发明的目的在于克服现有技术中的缺点和不足，提供一种可以实现对镀膜机光学镀膜近红外信号精准监控，结构简单，成本低廉的光学镀膜近红外膜厚监控仪。本发明包括信号通道，参考通道，相关器，输出装置和控制器。控制器用于控制信号通道、参考通道、相关器的参数设置和输出装置的信号输出状态。信号通道和参考通道的输出端与相关器的输入端连接，控制器与信号通道、参考通道的控制端，相关器的控制端、输出端，和输出装置的输入端连接。
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公开(公告)号：CN116511719B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202310606018.5
申请日：2023-05-25
Applicant: 中山大学
IPC: B23K26/346 , B23K26/082 , B23K26/352 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种激光‑电子束制备微纳结构的方法、系统及微纳结构。在基材表面涂覆匹配材料以形成薄膜；并将激光器产生的激光聚焦于薄膜表面上，通过运动扫描平台控制激光在薄膜表面上的扫描方向；调整激光器的加工参数，将光场达到在薄膜的表面产生周期性微纳结构的单位面积功率密度加工窗口，形成可擦除周期性微纳结构；将电子束聚焦于可擦除周期性微纳结构上，调整电子束的加工参数，将电子束达到改性可擦除周期性微纳结构的加工窗口，以形成永久性微纳结构。本发明将激光表面微纳制备技术和电子束曝光技术相结合，充分发挥激光辐照的高效性和电子束辐照的高精度，实现大面积制备高精度微纳结构的效果。
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公开(公告)号：CN115430916A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211128295.1
申请日：2022-09-16
Applicant: 中山大学
IPC: B23K26/354 , B23K26/70 , G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种基于匹配层的激光制备微纳结构的方法及系统，包括：通过在基材表面涂覆匹配材料以形成薄膜；将激光器产生的激光聚焦于薄膜表面上；将完成匹配材料涂覆的基材置于运动扫描平台上，以控制激光在薄膜表面上的扫描方向；调整激光器的加工参数，使光场达到在薄膜的表面产生周期性微纳结构的单位面积激光功率密度加工窗口；调整加工参数以改变所述单位面积激光功率密度，以形成可擦除微纳结构或者永久性微纳结构，对于可擦除微纳结构及剩余匹配层，可通过在特定溶剂中超声清洗进行擦除。本发明实现了在不破坏基材的情况下制备微纳结构，并首次在贵金属表面产生规则光栅等微纳结构，可应用于表面着色、多重防伪、信息加密等领域。
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