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公开(公告)号：CN115360571A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202211013722.1
申请日：2022-08-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于光谱合束波长自适应反馈控制系统，包括：N个不同波长的种子源、N个光纤放大器阵列、N个光纤端帽、聚焦系统、合束用衍射光栅、采样反射镜、平面反射镜、第一色散用衍射光栅、第二色散用衍射光栅、成像透镜、线阵CMOS图像传感器和数据处理系统。本发明的双光栅系统通过双光栅实施合束光的逆色散，实现实时波长高精度探测和在线波长自适应反馈，使波长工作在系统设计波长，解决由于波长漂移造成的指向抖动和光束质量下降问题，实现高亮度输出。
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公开(公告)号：CN110160677B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201910424007.9
申请日：2019-05-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01L1/08
Abstract: 一种非接触式光纤表面张力加载测量装置和测量方法，该装置包括左光纤夹具、右光纤夹具、左光纤压块、右光纤压块、张力传递机构、刚性连接杆、张力传感器、张力测控单元、左侧底板和直线位移台。本发明可以快速感应到光纤表面张力的实时变化，并且能够精确地测量出光纤表面的张力的大小，同时通过计算出的数值能够反应出光纤是否弯曲或者被拉伸，通过这些参数可以采用移动直线位移台进行拉伸或者压缩光纤表面张力，控制光纤表面张力并保持平衡，能够对光纤、光纤合束器、分路器等器件的制备具有重要的应用价值。为高功率光纤器件的制备加载指定张力具有重要的应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112993725A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110173017.7
申请日：2021-02-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种预展宽激光光谱的SBS效应抑制装置和抑制方法，装置包括调制激光光源、相位调制器、射频放大器、射频低通滤波器、白噪声源、伪随机二进制序列信号发生器和光纤放大器系统。本发明运用一个滤波后的白噪声源对激光光谱进行预展宽，以及一个滤波后的伪随机二进制序列信号对激光光谱进行主展宽，实现在维持激光光谱线宽的同时对光谱强度进一步匀化。根据SBS效应阈值增强因子关系式，调节伪随机调制信号的谱线间隔和选择白噪声源的调制带宽，可实现在光纤激光中SBS效应的最大化抑制。
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公开(公告)号：CN109883655B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201910097737.2
申请日：2019-01-31
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种DOE衍射角测量装置，包括单频激光器模块、供待测DOE放置的角度旋转台、傅里叶透镜和光斑显示模块；该光斑显示模块由图像探测器和与该图像探测器相连的数据处理设备组成。本发明通过旋转角度旋转台使待测衍射光束光斑在旋转后重新回到原位，可实现DOE各衍射光束衍射角测量，用于弥补现存DOE衍射角直接测量方法的装置结构复杂、测量系统位置精度要求高、数据处理繁杂等不足，解决分光型DOE衍射角直接测量读取问题。
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公开(公告)号：CN109494563B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201811530084.4
申请日：2018-12-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于环形腔主动光反馈的衍射光学元件相干合成的激光光源，主要包括全光反馈的被动环形腔和调谐范围不同的双级主动控制光学回路。特征在于将多路窄线宽的光纤激光器通过全光反馈共孔径相干合成的方式组合成一束高能激光空间输出，加入主动控制的反馈回路可确保初始主振荡种子波长与反馈腔模的中心波长相一致，进一步压窄合成激光的输出线宽，降低相位噪声，降低外界环境对环形腔的干扰，维持锁相效果的稳定。本发明克服了传统被动相干合成系统合成效率低、相位噪声强、锁相效果差的特点，既能保持住合成系统的稳定性和安全性，又有助于扩展阵列的规模，提高窄线宽输出激光的亮度，是实现光纤激光器向更高功率更好光束质量扩展的有效技术途径。
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公开(公告)号：CN107861250A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201711208007.2
申请日：2017-11-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B27/09
CPC classification number: G02B27/0944 , G02B27/0916 , G02B27/0966
Abstract: 一种基于色散光栅的光束整形装置，包括光源、准直透镜、光栅、反射镜和柱透镜；光源出射的光束经准直透镜扩束准直后入射到光栅，所述的光栅的衍射光斑经高反镜反射后入射到柱透镜，所述的柱透镜对衍射光斑的发散方向进行准直输出。本发明通过控制光源的线宽、光栅角色散和柱透镜焦距，实现光斑椭圆度可调控的椭圆光斑，并可将光斑整形为均匀度的线状光斑。通过逆用光栅衍射的原理实现阵列光源输出光束的共孔径输出可有效地提升整形光束的亮度。
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公开(公告)号：CN103151694A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310042006.0
申请日：2013-02-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/109
Abstract: 一种193nm波长紫外固体激光器，其构成包括579nm固体激光器，沿该579nm固体激光器的激光输方向依次是第一透镜、第二透镜、倍频晶体、聚焦透镜、和频晶体、准直透镜和紫外镀膜滤光片。与传统的193nm的气体放电ArF准分子激光器相比，本发明具有结构紧凑、成本低、维护方便和性能稳定等优点，可以为光刻系统提供优质的紫外光源。
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