五端口基于微机械固支梁电容型微波功率传感器及制备

    公开(公告)号:CN102411086A

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN201110229120.5

    申请日:2011-08-11

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 张志强

    Abstract: 本发明的五端口基于微机械固支梁电容型微波功率传感器不但具有传统热电式功率传感器的优点,如低损耗、高灵敏度和好的线性度,而且实现了五端口微波功率的测量,同时能够检测其中哪些端口输入了微波功率及其功率大小的比例,具有高的集成度以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。该结构在砷化镓衬底上有五个用于传输微波信号的CPW输入端,它们彼此对称放置且相互之间呈72º的角,在每个CPW的输出端连接两个终端匹配电阻,每个终端电阻附近有一个热电偶,将这五对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆,这五对热电偶相互之间也呈72º的角;在每个CPW上横跨一个MEMS固支梁,固支梁的两个锚区均位于CPW地线外侧,在CPW信号线和地线之间放置传感电极。

    微机械耦合度可重构微波功率耦合器及其制备方法

    公开(公告)号:CN102354789A

    公开(公告)日:2012-02-15

    申请号:CN201110283693.6

    申请日:2011-09-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的微机械耦合度可重构微波功率耦合器不但具有传统微波功率耦合器的优点,如高的隔离度和好的方向性,而且能够实现低、中和高三种可重构的耦合度。该结构在砷化镓衬底上有两对MEMS悬臂梁结构,其一对较短MEMS悬臂梁的锚区在主线上而其另一对较长MEMS悬臂梁的锚区在耦合微带线上,每个MEMS悬臂梁的下方均设有驱动电极;通过控制长短MEMS悬臂梁的驱动电压,使该耦合器能够实现可选择的耦合通路,从而实现三种不同耦合度的可重构微波功率耦合器。

    呈120°角三通道微电子机械微波功率传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN102338825A

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN201110229397.8

    申请日:2011-08-11

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 张志强

    Abstract: 本发明的呈120º角三通道微电子机械微波功率传感器不但具有传统热电式微波功率传感器的优点,如低损耗、高灵敏度、好的线性度,而且具有实现三通道微波功率的测量、高的集成度以及与砷化镓单片微波集成工艺兼容的优点。该结构在砷化镓衬底上,有三个用于传输微波信号的CPW输入端,它们彼此对称放置且相互之间呈120º的角,在每个CPW的输出端并联连接两个终端匹配电阻,每个终端匹配电阻附近有一个热电偶,将这三对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆,这三对热电偶相互之间也同样呈120º的角;金属散热片被热电堆的冷端环绕;MEMS衬底膜结构位于终端匹配电阻和热电堆的热端下方。

    微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN102243268A

    公开(公告)日:2011-11-16

    申请号:CN201010240182.1

    申请日:2010-07-29

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 张志强

    Abstract: 微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法,定向耦合式微波功率传感器由定向微波功率耦合器和基于热电堆的终端式微波功率传感器组成,定向微波功率耦合器的副线与主线耦合的部分设有MEMS固支梁,MEMS固支梁作为副线的一段耦合线段;MEMS固支梁下方设有驱动电极;定向微波功率耦合器的耦合输出端口设有终端发热电阻,热电堆设置在终端发热电阻旁,构成终端式微波功率传感器。本发明不但具有终端式微波功率传感器的优点,如低损耗、高灵敏度、宽频带和良好的线性度,而且通过控制MEMS固支梁的驱动电压使该定向耦合式微波功率传感器实现在线监测和不监测两种状态,减少不必要的功率损耗。

    MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN101915870A

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN201010223806.9

    申请日:2010-07-12

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 张志强

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器及其制备方法,所述微波功率传感器包括砷化镓衬底、主线CPW、副线CPW、MEMS悬臂梁式结构和终端微波功率监测系统;所述MEMS悬臂梁式结构包括悬臂梁和锚区,悬臂梁横跨在主线CPW信号线上方,悬臂梁的固定端固定在锚区上,锚区通过副线CPW信号线与终端微波功率监测系统相连接;所述悬臂梁结构下方设有驱动电极。本发明提供的MEMS悬臂梁式在线微波功率传感器,不但具有终端式微波功率传感器的优点,如低损耗和高灵敏度,而且具有在线微波功率测量、实现监测和不监测两种状态、多种耦合度的在线微波功率传感器的集成以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。

    一种悬吊式的调频质量阻尼器

    公开(公告)号:CN101806104A

    公开(公告)日:2010-08-18

    申请号:CN201010137516.2

    申请日:2010-03-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种悬吊式的调频质量阻尼器,包括弹簧、质量块和粘滞流体阻尼器,所述质量块通过弹簧和粘滞流体阻尼器悬吊在上悬梁或顶板上,所述粘滞流体阻尼器主要由密封的缸筒、穿过所述缸筒可上下滑动的导杆和固定在导杆上的活塞构成,所述粘滞流体阻尼器的阻尼系数随着粘滞流体阻尼器位移的变化而变化。本发明装置能够对竖向振动进行控制,装置结构简单,占用体积比较小,空间利用率高。

    高耗能复位金属阻尼器
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1769607A

    公开(公告)日:2006-05-10

    申请号:CN200410066052.5

    申请日:2004-12-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的高耗能复位金属阻尼器由左连接钢板(2)、左弹簧(3)、灌注铅(4)、钢棒(5)、限位帽(6)、内钢管(7)、外钢管(8)、限位钢板(9)、右弹簧(10)、右连接钢板(11)组成;内钢管(7)位于外钢管(8)中,在内钢管(7)和外钢管(8)之间腔体内设有灌注铅(4),沿内钢管(7)和外钢管(8)的径向插有钢棒(5),在钢棒(5)两端头设有限位帽(6);在阻尼器的左端,左连接钢板(2)连接在内钢管(7)的左端,左弹簧(3)套在内钢管(7)外并位于左连接钢板(2)与外钢管(8)之间;在阻尼器的右端,限位钢板(9)与内钢管(7)相接,右连接钢板(11)与外钢管(8)相接,在限位钢板(9)与右连接钢板(11)之间设有右弹簧(10)。

    针对患者疼痛状态的智能给药控制系统

    公开(公告)号:CN118807034A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202411155200.4

    申请日:2024-08-22

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 吴新瑶 张志强

    Abstract: 本发明公开了一种针对患者疼痛状态的智能给药控制系统,包括:采集模块,用于采集患者的面部表情图像;识别模块,用于根据患者的面部表情图像识别患者的疼痛状态;处理模块,用于根据患者的疼痛状态得到对应的给药控制方式。本发明利用高精度的视觉检测技术和先进的智能分析算法,对患者在使用过程中的表情进行实时监测,从而准确评估患者的疼痛程度,实现对药量的精准控制和调整,减轻了医护人员的工作负担,提高了护理效率。

    一种微型化NDIR气体传感器模组
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118501080A

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202410596253.3

    申请日:2024-05-14

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种微型化NDIR气体传感器模组,该模组的中空气室包括底板和外罩,外罩的上表面设进气孔,进气孔表面设滤网,外罩的内表面设有至少一个椭圆弧侧壁、多个内侧壁与斜坡;底板上设有用于放置红外光源和红外气体传感器芯体的第一通孔与第二通孔,两通孔的孔心分别与对应椭圆弧侧壁所在椭圆的两个焦点重合,第二通孔位于斜坡的正下方;底板背面设有调理电路,红外光源和红外气体传感器芯体均与调理电路电连接;待测气体通过滤网与进气孔进入气室,红外光源发出的光线经椭圆弧侧壁、多个内侧壁与斜坡的多次反射后进入红外气体传感器芯体。本发明在不降低红外光程长度和灵敏度的情况下,实现了一种高性能微型化NDIR气体传感器模组。

    一种MEMS热式流量传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116448193A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310434700.0

    申请日:2023-04-21

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 张志强 顾闰淇

    Abstract: 本发明提供了一种MEMS热式流量传感器。通过在衬底的内部做纵向贯穿衬底的两个流道,在流道中央分别做两个环形电阻环绕流道,流道的两端分别围绕有环形热电堆测量上下游温度。工作时,由于流道上下表面的热电堆关于环形电阻呈对称分布,输出电压相同。流体经过时,改变了热场的对称分布,引起流道上下表面热电堆的输出电压改变,从而可以测量出垂直于衬底方向流过的流体的流量与方向。此外,传感器具有多种工作模式:两个环形电阻可以单独工作,也可以串联工作。对应地,环形热电堆的输出电压既可以单独测量也可以串联后进行测量,实现了单一流道内流体的测量与双流道内流体的同时测量。

Patent Agency Ranking