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公开(公告)号：CN213635931U
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202022355090.X
申请日：2020-10-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本实用新型提供一种批量形成机构和基板处理装置，其形成与工艺条件、硬件条件相应的批量。本公开的一形态的批量形成机构具备接收部、间距转换部以及保持部。接收部以能够在垂直方向上移动的方式配置，从输送机构接收以预定的间距排列的多张基板。间距转换部用于转换以等间隔排列配置的多张基板的间距。保持部以能够在水平方向上移动的方式配置，用于暂时保持多张基板。
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