SF6分解气体的混气系统
    23.
    实用新型

    公开(公告)号:CN216208018U

    公开(公告)日:2022-04-05

    申请号:CN202121896892.X

    申请日:2021-08-13

    Abstract: 本实用新型涉及一种SF6分解气体的混气系统,包括第一气路、第二气路和混气箱,第一气路和第二气路中均设有质量流量控制器,且第一气路和第二气路的输出端均连接至混气箱的进气口,第一气路的输入端连接至装填有SF6气源的第一容器,第二气路的输入端连接至第二容器,第二气路共设有多个,且各第二气路输入端连接至不同的第二容器,混气箱包括本体、待测传感器、风扇、压力测量单元、加热单元和真空泵,混气箱的出气口连接至真空泵,待测传感器、压力测量单元、风扇和加热单元均置于本体内,本体上还设有航插,航插连接至待测传感器。与现有技术相比,本实用新型具有提高样品准确度等优点。

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