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公开(公告)号:CN103025923A
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201180035919.9
申请日:2011-07-21
Applicant: 三菱丽阳株式会社
CPC classification number: C25D17/02 , B29C33/424 , C25D1/006 , C25D11/005 , C25D11/08 , C25D11/10 , G02B1/118 , G02B27/0006
Abstract: 本发明涉及纳米压印用模具的制造装置,其为在电解液中对铝基材进行阳极氧化处理的纳米压印用模具的制造装置,其特征在于,至少与电解液接触的部分的表面的材质为下述的金属或其合金,该金属或其合金在室温下在80mL电解液中浸渍450小时的情况下的金属的每单位表面的溶出量为0.2ppm/cm2以下;以及纳米压印用模具的制造方法,其特征在于,使用前述纳米压印用模具的制造装置进行阳极氧化处理。本发明可以提供能够抑制进行阳极氧化处理时金属溶出到电解液中的纳米压印用模具的制造装置、以及纳米压印用模具的制造方法。
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公开(公告)号:CN102933363A
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN201180028379.1
申请日:2011-04-06
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: B29C33/58 , B29C33/70 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC classification number: B29C33/58 , B29C43/222 , G01N21/3563
Abstract: 本发明涉及表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法,其将表面被脱模剂处理过的辊状模具表面的微细凹凸结构转印到薄膜(物品主体)的表面,从而制造表面具有微细凹凸结构的物品,该制造方法包括:将微细凹凸结构转印到薄膜的表面;测定将所述薄膜从模具剥离后的辊状模具表面的红外分光光谱;以及基于所述红外分光光谱判定辊状模具表面的脱模剂的状态好坏。本发明可提供能在线且简便地监控模具表面的脱模剂的状态并能够抑制生产率降低的、表面具有微细凹凸结构的物品的制造方法和制造装置。
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公开(公告)号:CN102666055A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201080058602.2
申请日:2010-12-22
Applicant: 三菱丽阳株式会社
IPC: B29C33/56 , B29C59/02 , H01L21/027 , B29L7/00
CPC classification number: B29C59/046 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C33/60 , B29C37/0067 , B29C2035/0827 , B29C2059/023 , C25D11/04 , C25D11/045 , C25D11/24
Abstract: 本发明涉及具有下述工序(I)~(III)的模具的制造方法:(I)制作表面形成了微细凹凸结构的模具主体的工序;(II)按照有机系脱模剂的性能评价方法评价有机系脱模剂的性能的工序;以及(III)用通过上述工序(II)判定为性能良好的有机系脱模剂处理上述工序(I)中制作的模具主体的表面的工序;其中,所述有机系脱模剂的性能评价方法为:将有机系脱模剂与试验用有机溶剂混合,通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏的方法。
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