激光感热成像装置
    21.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100493283C

    公开(公告)日:2009-05-27

    申请号:CN200410095472.6

    申请日:2004-12-31

    CPC classification number: B41J2/325 B41M5/38221 H01L51/0013 H01L51/56

    Abstract: 本发明提供一种制造有机发光显示器的激光感热成像(LITI)装置。该激光感热成像装置包括:一个布置有基板的平台;一个用于传输施主基板的传输装置;一个叠层该基板与施主基板的叠层器;一个执行LITI的激光光学单元;和提供有一种惰性气体的大气压力的室,前述平台、叠层器和激光光学单元被布置在该室中。根据本发明的LITI装置通过调整惰性气体气氛中氧气和水蒸汽的分压来进行转移工艺,从而可以保护基板上将被转移的有机层和像素电极免受外部空气的影响,从而提高了所制造有机发光显示器的寿命特性。

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