公开(公告)号：CN204594601U

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201520312985.1

申请日：2015-05-15

Applicant: 中北大学

Inventor： 陈晓勇 ,  李晨 ,  熊继军 ,  丑修建 ,  刘俊 ,  贾平岗 ,  谭秋林 ,  梁庭 ,  洪应平 ,  穆继亮 ,  安坤

IPC: G01L1/14

Abstract: 本实用新型公开了一种近场耦合无线无源超高温压力传感器，所述传感器由近场耦合力敏结构、耐高温波导和耐高温天线构成，所述近场耦合力敏结构由平面谐振器、介质层或金属与介质复合层构成，所述介质层或金属与介质复合层构成力敏膜，平面谐振器、介质层或金属与介质复合层之间使用的空心耐高温筒体隔开。本实用新型以近场耦合理论作为压力信号、电磁场耦合依据设计力敏结构，极大的减少了传感器体积和压力信号、电磁场耦合灵敏度；基于近场耦合理论的近场耦合力敏结构无需侧壁涂覆金属，降低了加工难度，避免了腔内壁转角、折弯及形状突变处金属涂覆，保证了金属涂层与基片粘接可靠性，进而保证本超高温压力传感器可靠性。