公开(公告)号：CN1300875A

公开(公告)日：2001-06-27

申请号：CN00137365.X

申请日：2000-12-07

Applicant: 夏普公司 ,  大见忠弘

Inventor： 山本直子 ,  田寺孝光 ,  山本达志 ,  平山昌树 ,  大见忠弘

IPC: C23C16/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32192 ,  H01J37/3244

Abstract: 本发明的等离子体处理装置具有向处理室12内放射等离子体的电介质板5和支承该电介质板5的电介质支承部件6A～6D。在电介质支承部件6A～6D上设置向处理室内部12供给反应气体的多个气体导入孔6a。该气体导入孔6a的吹出口朝着基板8的表面开口,且被配置在电介质板5的外周区域上。容器盖1及电介质板支承部件6A～6D施加接地电位,基板8上施加偏电位。从而,可以得到使用均匀的等离子体均匀地处理大面积基板,且成本低的等离子体处理装置。

公开(公告)号：CN1190811A

公开(公告)日：1998-08-19

申请号：CN97119293.6

申请日：1997-07-18

Applicant: 大见忠弘 ,  佳能株式会社

Inventor： 大见忠弘 ,  田中信义 ,  平山昌树

IPC: H01S3/22 ,  H01S3/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01S3/0975 ,  H01S3/08 ,  H01S3/225

Abstract: 本发明涉及准分子激光器振荡设备,其具有激光室,用于存储包括至少一种选自Kr、Ar、Ne、F2气体组中惰性气体混合物的激光气体,在激光室内表面上具有相对于所要求波长如,248nm,193nm,或157nm光不反射的表面,该内表面的最上层表面内氟化物组成,光学谐振器,由一对反射镜组成,在它们之间夹着激光室,位于输出侧反射镜的反射率在90%以上,微波输入装置,设置在激光室上面,用于连续地激励激光室中的激光气体。

公开(公告)号：CN1086349A

公开(公告)日：1994-05-04

申请号：CN93109330.9

申请日：1993-08-10

Applicant: 大见忠弘

Inventor： 大见忠弘

IPC: H01M12/00

CPC classification number: H01M8/186 ,  C25B1/04 ,  H01M6/24 ,  H01M12/08 ,  Y02E60/128 ,  Y02E60/366

Abstract: 本发明涉及一种发电装置，特别是一种几乎完全不使用矿物燃料，对地球环境不会造成污染，并以低价格取得大量发电功能，以代替火力发电的发电装置，该装置包括在一容器中装入由一种本身不离解的溶剂和向其中添加的在该溶剂中离解的物质所组成的溶液。该容器具有耐该溶液腐蚀并且是电绝缘的内表面，其中浸渍着一对功函数小的阳极与功函数大的阴极。