公开(公告)号：CN101222983A

公开(公告)日：2008-07-16

申请号：CN200680024873.X

申请日：2006-07-07

Applicant: 康邦权

Inventor： 康邦权

IPC: B05D3/14

CPC classification number: C23C16/50 ,  B05D1/62 ,  B05D5/083 ,  B05D2201/04 ,  B05D2202/00 ,  B05D2203/35 ,  C23C16/22 ,  C23C16/26

Abstract: 本发明涉及一种使用常压等离子体在工件表面涂覆碳氟化合物或烃的方法。更特别的，本发明涉及一种使用在常压产生的等离子体在工件表面涂覆烃或碳氟化合物从而使得该工件可以具有疏水性或超疏水性表面的方法。根据本发明采用碳氟化合物将工件表面涂覆成疏水的或超疏水的的方法包括步骤，通过将一种反应气体供入一个形成在第一电极和第二电极之间的放电空间，产生第一常压辉光等离子体，该反应气体包括氢气、碳氟化合物气体和惰性气体，第一和第二电极被连接到一个常压等离子体发生器的RF电源；将该工件靠近流过该放电空间的反应气体下游的第一电极，由此，在该放电空间产生的等离子体被传递到第一电极和该工件之间的空间，以在其中产生第二常压辉光等离子体，借此，一种碳氟化合物涂层可被形成在该工件的表面上。