公开(公告)号：CN1697024A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200510067079.0

申请日：2005-04-27

Applicant: TDK株式会社

Inventor： 沟口义之 ,  山田和秀 ,  梅原刚 ,  大山信也 ,  小出宗司

IPC: G11B5/31 ,  G11B5/60 ,  B24B19/26

CPC classification number: G11B5/3173 ,  B24B19/26 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3166 ,  Y10T29/49004 ,  Y10T29/49048

Abstract: 本发明提供一种用于研磨细长元件条的表面的方法，所述细长元件条具有排列成一条直线的多个薄膜磁性元件，每个所述薄膜磁性元件在一堆叠结构中具有用于从一记录介质读取磁记录的磁阻传感器和用于将磁记录写入到所述记录介质中的感应电磁换能器，所述元件条的表面是一研磨表面，从而该表面借助研磨能够形成一空气轴承表面。所述方法包括步骤：沿与元件条的纵向平行的第一纵向线提前在研磨表面上提供第一电阻膜；和沿与元件条的纵向平行的第二纵向线提前在研磨表面上提供第二电阻膜。所述方法还包括步骤：研磨所述研磨表面的同时，将元件条压靠在一旋转研磨盘上，使元件条的纵向定位朝向研磨盘的径向；测量第一和第二电阻膜的电阻值，和基于所述第一电阻膜和第二电阻膜的电阻值控制研磨表面在纵向和垂直于纵向的方向上的研磨量。