负型感光性树脂组合物
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115480447A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202210672203.X

    申请日:2022-06-14

    Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物,提供具有碱溶解性、可低温固化、可得到耐化学药品性优异的固化膜的固化性组合物。一种负型感光性树脂组合物,其含有下述的成分(A)~(E)。(A)由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)、及由水杨醛衍生的结构单元(a3)的摩尔比[(a1):(a2):(a3)]为1.0:0.3~0.8:0.3~0.8的酚醛清漆型酚醛树脂/(B)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的1种以上的树脂/(C)光产酸剂/(D)交联剂/(E)溶剂。

    正型感光性树脂组合物、固化膜和抗蚀膜

    公开(公告)号:CN114902135B

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202080089372.X

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明为正型感光性树脂组合物、以及由该正型感光性树脂组合物形成的固化膜和抗蚀膜,所述正型感光性树脂组合物含有:(A)酚醛清漆型酚醛树脂,其在以摩尔比计为(a1):(a2):(a3)=1.0:0.3~0.8:0.3~0.8的范围内具有衍生自间甲酚的结构单元(a1)、衍生自苯甲醛的结构单元(a2)、和衍生自水杨醛的结构单元(a3);(B)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体和聚苯并噁唑前体中的1种以上的树脂;(C)感光剂;和,(D)溶剂。根据本发明的正型感光性树脂组合物,可以得到除具有高灵敏度之外还在低温固化下具有耐化学药品性的固化膜和抗蚀膜。

    正型感光性树脂组合物、抗蚀膜、抗蚀下层膜和抗蚀永久膜

    公开(公告)号:CN118011733A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202311483172.4

    申请日:2023-11-09

    Abstract: 提供能够得到i射线透射性高、显影性和耐热性优异的抗蚀膜的正型感光性树脂组合物、抗蚀膜、抗蚀下层膜和抗蚀永久膜。一种正型感光性树脂组合物,其含有下述成分(A)~(C)。(A)酚醛清漆型酚醛树脂/(B)光产酸剂/(C)溶剂,所述酚醛清漆型酚醛树脂中的由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)和由水杨醛衍生的结构单元(a3)的摩尔比[(a1):(a2):(a3)]为1.0:0.3~0.8:0.3~0.8,所述酚醛清漆型酚醛树脂具有缩醛基系保护基。

    含酚羟基树脂、感光性组合物、抗蚀膜、固化性组合物和固化物

    公开(公告)号:CN113348188B

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN201980089823.7

    申请日:2019-12-17

    Abstract: 以提供具有高耐热性且用作抗蚀材料时显示优异碱显影性的含酚羟基树脂作为课题,提供一种含酚羟基树脂,其是酚醛清漆型酚醛树脂(C)与醇化合物(X)的反应产物,所述酚醛清漆型酚醛树脂(C)以下述式(1)所示的芳香族化合物(A)和脂肪族醛(B)作为必须的反应原料。式(1)中,R1和R2为碳原子数1~9的脂肪族烃基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子。m、n和p为0~4的整数。R3为氢原子、碳原子数1~9的脂肪族烃基、或者在烃基上具有1个以上选自烷氧基、卤素基团和羟基中的取代基的结构部位。R4为羟基、碳原子数1~9的脂肪族烃基、烷氧基或卤素原子。#imgabs0#

    铜微粒子烧结体
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111417735B

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN201880077321.8

    申请日:2018-11-01

    Abstract: 本发明所要解决的课题在于提供一种接合构件,所述接合构件将铜微粒子设为半导体装置零件的接合构件,且在200℃以上的高温条件下的运行中,不会在半导体装置内产生龟裂或剥离等。本发明通过提供一种铜微粒子烧结体来解决所述课题,所述铜微粒子烧结体用于半导体装置零件接合,当将铜微粒子烧结体在150℃下的维氏硬度设为Hvb,将所述铜微粒子烧结体在25℃下的维氏硬度设为Hva时,(Hvb/Hva)×100%的值为5%以上、20%以下。

    正型感光性树脂组合物、固化膜和抗蚀膜

    公开(公告)号:CN114902135A

    公开(公告)日:2022-08-12

    申请号:CN202080089372.X

    申请日:2020-12-10

    Abstract: 本发明为正型感光性树脂组合物、以及由该正型感光性树脂组合物形成的固化膜和抗蚀膜,所述正型感光性树脂组合物含有:(A)酚醛清漆型酚醛树脂,其在以摩尔比计为(a1):(a2):(a3)=1.0:0.3~0.8:0.3~0.8的范围内具有衍生自间甲酚的结构单元(a1)、衍生自苯甲醛的结构单元(a2)、和衍生自水杨醛的结构单元(a3);(B)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体和聚苯并噁唑前体中的1种以上的树脂;(C)感光剂;和,(D)溶剂。根据本发明的正型感光性树脂组合物,可以得到除具有高灵敏度之外还在低温固化下具有耐化学药品性的固化膜和抗蚀膜。

    铜微粒子烧结体
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111417735A

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201880077321.8

    申请日:2018-11-01

    Abstract: 本发明所要解决的课题在于提供一种接合构件,所述接合构件将铜微粒子设为半导体装置零件的接合构件,且在200℃以上的高温条件下的运行中,不会在半导体装置内产生龟裂或剥离等。本发明通过提供一种铜微粒子烧结体来解决所述课题,所述铜微粒子烧结体用于半导体装置零件接合,其特征在于:当将铜微粒子烧结体在150℃下的维氏硬度设为Hvb,将所述铜微粒子烧结体在25℃下的维氏硬度设为Hva时,(Hvb/Hva)×100的值为5%以上、20%以下。

    负型感光性树脂组合物和干膜抗蚀剂

    公开(公告)号:CN117687269A

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202311167780.4

    申请日:2023-09-12

    Abstract: 一种负型感光性树脂组合物和干膜抗蚀剂。本发明的课题是提供一种负型感光性树脂组合物和曝光前的抗蚀层具有碱溶解性,制膜性和密合性优异,且曝光后的抗蚀剂固化物的耐化学药品性优异的干膜抗蚀剂。本发明的解决手段在于提供一种负型感光性树脂组合物,其含有下述成分(A)~(C)。(A)由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)和由水杨醛衍生的结构单元(a3)的摩尔比[(a1):(a2):(a3)]为1.0:0.3~0.8:0.3~0.8的酚醛清漆型酚醛树脂/(B)自由基聚合性化合物/(C)光聚合引发剂。

    含酚性羟基树脂
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116023607A

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN202211323239.3

    申请日:2022-10-27

    Abstract: 本发明提供含酚性羟基树脂。提供相对于弱碱显影液具有优异的溶解性、具有与光敏剂的高亲和性、不使用甲醛的感光性树脂组合物。一种含酚性羟基树脂,其包含:由酚化合物衍生的结构单元(a)、由具有羧基的芳香族醛化合物衍生的结构单元(b)、和由芳香族醛化合物衍生的结构单元(c)。

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