含酚羟基树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109790264B

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN201780060031.8

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明目的在于,提供流动性优异、固化物的耐热性及耐干蚀刻性高的含酚羟基树脂、含有其的固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供如下的含酚羟基树脂,其为下述结构式(1)(式中X表示碳原子数1~14的烃基。R1各自独立地为脂肪族烃基、烷氧基、卤原子、芳基、芳烷基中的任意者。m为0、1或2,n为0或1~4的整数。)所示的双萘酚化合物(a1)与氰脲酰卤(a2)的反应产物,且多分散系数(Mw/Mn)为1.01~1.30的范围。

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