酚醛清漆型树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109071744B

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201780023399.7

    申请日:2017-03-23

    Abstract: 提供耐热性、碱显影性、感光度、分辨率等各性能优异的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。涉及将具有三(羟基芳基)次甲基的化合物(A)和醛化合物(B)作为必须反应原料的酚醛清漆型树脂、含有前述酚醛清漆型树脂的感光性组合物、含有前述酚醛清漆型树脂的固化性组合物及其固化物、使用前述感光性组合物或固化性组合物而成的抗蚀剂材料。

    含酚性羟基树脂及抗蚀膜
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108290991B

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201680070848.9

    申请日:2016-11-17

    Abstract: 以提供显影性、耐热性及基板追随性优异的含酚性羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜为课题。使以三芳基甲烷型化合物(A)和醛化合物(B)作为必需成分反应而得到的酚醛清漆树脂中间体、与碳原子数9~24的烯烃化合物(C)进行反应而得到的含酚性羟基树脂、含有该含酚性羟基树脂的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜。

    含酚性羟基树脂及抗蚀膜
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108290991A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201680070848.9

    申请日:2016-11-17

    Abstract: 以提供显影性、耐热性及基板追随性优异的含酚性羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜为课题。使以三芳基甲烷型化合物(A)和醛化合物(B)作为必需成分反应而得到的酚醛清漆树脂中间体、与碳原子数9~24的烯烃化合物(C)进行反应而得到的含酚性羟基树脂、含有该含酚性羟基树脂的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀膜。

    酚醛清漆型含酚性羟基树脂以及抗蚀膜

    公开(公告)号:CN107531858A

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201680025670.6

    申请日:2016-04-21

    Abstract: 本发明提供显影性、耐热性和基板追随性优异的酚醛清漆型含酚性羟基树脂以及抗蚀膜。一种酚醛清漆型含酚性羟基树脂,其特征在于,其是以下述结构式(1)[式中,Ar为下述结构式(Ar‑1)或(Ar‑2)所示的结构部位]所示的含酚性羟基化合物(A)、下述结构式(2)[式中,R3为碳原子数4~20的脂肪族烃基,j为1~3的整数]所示的含酚性羟基化合物(B)以及醛化合物(C)为必要反应成分的缩聚物。

    永久膜用感光性组合物、抗蚀材料及涂膜

    公开(公告)号:CN106462063A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201580031521.6

    申请日:2015-05-19

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种感光灵敏度、分辨率、耐热性及耐吸湿性优异、并且在高温环境下不易发生污染、适合作为永久膜的材料的感光性组合物等,提供一种永久膜用感光性组合物,其含有羟基萘酚醛清漆树脂,不含固化剂、或含有相对于前述树脂100质量份为50质量份以下的固化剂,所述羟基萘酚醛清漆树脂具有通式(1)所示的结构部位(I)作为重复单元,且通式(2)所示的羟基萘类(A)的含量以树脂固体成分换算计为2质量%以下[式中,R1表示氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子,多个存在的R1可以彼此相同也可以不同,R2表示氢原子、烷基或芳基,p表示1或2,q表示4或5。其中,p与q之和为6。]。

    含酚羟基树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109790263B

    公开(公告)日:2021-09-17

    申请号:CN201780061603.4

    申请日:2017-09-21

    Abstract: 本发明的目的在于,提供不仅耐热性、碱显影性优异、而且厚膜形成时的耐裂纹性也优异的含酚羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供一种含酚羟基树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)或(2)[式中R2、R3各自独立地为脂肪族烃基、含芳香环的烃基、烷氧基、卤原子中的任意者。]所示的结构部位(α)和下述结构式(3)(式中R4为氢原子或碳原子数1~7的脂肪族烃基。R5为氢原子或碳原子数8~24的脂肪族烃基。)所示的结构部位(β)作为重复单元,存在于树脂中的R2、R3、R5中的至少一者为碳原子数8~24的脂肪族烃基。

    酚醛清漆型树脂及抗蚀膜
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108368214B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN201680071738.4

    申请日:2016-11-17

    Abstract: 提供显影性、耐热性及耐干蚀刻性优异的酚醛清漆型树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物及抗蚀膜。一种酚醛清漆型树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)或(2)[式中,Ar表示亚芳基。R1各自独立地为氢原子、烷基、烷氧基、卤素原子中的任意者,m各自独立地为1~3的整数。X为氢原子、叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。]所示的结构部位作为重复单元,树脂中存在的X中的至少一个为叔烷基、烷氧基烷基、酰基、烷氧基羰基、含杂原子的环状烃基、三烷基甲硅烷基中的任意者。

    含酚羟基树脂及抗蚀剂材料

    公开(公告)号:CN109790263A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201780061603.4

    申请日:2017-09-21

    CPC classification number: C09B69/103 C08G8/20 C08G8/30 C08L61/14 C09B11/06

    Abstract: 本发明的目的在于,提供不仅耐热性、碱显影性优异、而且厚膜形成时的耐裂纹性也优异的含酚羟基树脂、含有其的感光性组合物、固化性组合物、及抗蚀剂材料,提供一种含酚羟基树脂,其特征在于,具有下述结构式(1)或(2)[式中R2、R3各自独立地为脂肪族烃基、含芳香环的烃基、烷氧基、卤原子中的任意者。]所示的结构部位(α)和下述结构式(3)(式中R4为氢原子或碳原子数1~7的脂肪族烃基。R5为氢原子或碳原子数8~24的脂肪族烃基。)所示的结构部位(β)作为重复单元,存在于树脂中的R2、R3、R5中的至少一者为碳原子数8~24的脂肪族烃基。

    酚醛清漆型酚醛树脂、其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料、及涂膜

    公开(公告)号:CN107001550B

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201580064208.2

    申请日:2015-10-08

    Abstract: 提供耐热性优异、且对g射线、h射线及i射线的曝光波长的吸光度低、高灵敏度的感光性组合物、抗蚀材料、其涂膜、及适合于这些用途的酚醛清漆型酚醛树脂及其制造方法。具体而言,提供一种酚醛清漆型酚醛树脂,其特征在于,其是使酚系三核体化合物(A)与甲醛在酸催化剂下进行反应而得到的,所述酚系三核体化合物(A)包含通过二烷基取代苯酚与含羟基芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A1)、以及通过在2,3位、2,5位、3,4位、或3,5位的位置具有烷基的二烷基取代苯酚与不具有羟基的芳香族醛的缩合反应得到的酚系三核体化合物(A2),并且前述酚系三核体化合物(A1)与前述酚系三核体化合物(A2)的摩尔比为20:80~90:10。

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