衍射光学元件及照明光学系统

    公开(公告)号:CN112840238A

    公开(公告)日:2021-05-25

    申请号:CN201980067492.7

    申请日:2019-10-07

    Abstract: 本发明涉及衍射光学元件,具备:衍射部,利用衍射作用来使光分支;及透镜部,设置于所述衍射部的光入射侧,将入射光变换为平行光,所述透镜部包括:基材;及凹凸部,配置于所述基材的与光入射侧相反的一侧,所述凹凸部包括:截面是曲线的浮凸形状的凸部的浮凸型凸部的周期构造、模仿了所述浮凸型凸部的以所述基材为第1级的2级以上的阶梯状的光栅的周期构造或它们的组合,配置于中心部;及光栅,配置于所述中心部以外,配置于所述中心部的所述阶梯状的光栅的级数比配置于所述中心部以外的所述光栅的级数多。

    衍射光学元件、投影装置及计测装置

    公开(公告)号:CN112236694A

    公开(公告)日:2021-01-15

    申请号:CN201980038280.6

    申请日:2019-06-06

    Abstract: 本发明涉及衍射光学元件,具备:基材;凹凸部,设置于所述基材的一个面上,相对于入射光显现规定的衍射作用;及反射防止层,配备于所述基材与所述凹凸部之间,构成所述凹凸部的凸部的第一介质和构成所述凹凸部的凹部的第二介质在所述入射光的波段中的有效折射率差Δn为0.70以上,在所述入射光从所述基材的法线方向入射时从所述凹凸部出射的衍射光的出射角度范围θout为60°以上,所述入射光的波段中的从所述凹凸部向所述出射角度范围内出射的衍射光相对于向所述凹凸部入射的总光量的综合效率为65%以上。

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