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公开(公告)号：CN120063562A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202410970821.1
申请日：2024-07-19
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种具接触件的力传感器及具备该力传感器的环形力感测装置。该力传感器包括承载件、限制件、接触件及多个感测件。承载件包含多个承载面，并形成一多面形凹槽。限制件与承载件结合，并具有穿孔。接触件位于多面形凹槽内，并从穿孔凸出。多个感测件分别位于该些承载面上或位于承载件内并分别对应于该些承载面，每一感测件的感测方向实质垂直于对应的承载面。环形力感测装置包括环形本体及至少一个力传感器；而力传感器可配置于环形本体的内侧表面。
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公开(公告)号：CN114623963B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202110176238.X
申请日：2021-02-09
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种具有扭力传感器的心轴装置，其包括一轴件、一第一扭力传感器及一第二扭力传感器。轴件沿一轴向延伸。轴件包括一中央段、一第一侧段及一第二侧段。第一侧段及第二侧段设置于中央段的相对两端。中央段具有以轴向为扭转轴向的一中央扭转刚性。第一侧段具有以轴向为扭转轴向的一第一扭转刚性。第二侧段具有以轴向为扭转轴向的一第二扭转刚性。第一扭转刚性小于中央扭转刚性。第二扭转刚性小于中央扭转刚性。第一扭力传感器设置于第一侧段。第二扭力传感器设置于第二侧段。
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公开(公告)号：CN115267345B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202110471602.5
申请日：2021-04-29
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: G01R27/26
Abstract: 一种具校正功能的微机电感测装置，包含微机电传感器以及集成电路芯片。微机电传感器包含质量块、至少一驱动电极设置于基板上及至少一感应电极设置于质量块上，当质量块产生振动时，感应电极会输出感测信号。集成电路芯片包含转换模块以及校正模块，转换模块电性连接微机电传感器，校正模块电性连接转换模块。转换模块将感测信号转换成输入频谱信号，校正模块接收输入频谱信号并将输入频谱信号转换成输出频谱信号，其中当微机电传感器承受等振幅的振动时且输入频谱信号为非等振幅频谱信号时，输出频谱信号为等振幅频谱信号。
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公开(公告)号：CN118281093A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202310203459.0
申请日：2023-03-06
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H01L31/0312 , H01L31/101 , H01L27/144 , G01J1/42 , G01J5/20
Abstract: 本发明公开一种垂直整合式红外线感测装置，其包含集成电路芯片、红外线感应膜及金属接合层。集成电路芯片包含硅基板、电路元件及介电层。红外线感应膜包含顶部吸收层、感应层及底部吸收层。感应层设置于顶部吸收层及底部吸收层之间。顶部吸收层、感应层及底部吸收层的材料为半导体制作工艺相容材料。金属接合层连接集成电路芯片中硅基板上的介电层及红外线感应膜的底部吸收层，以形成一种垂直整合式红外线感测装置。红外线感应膜被多个孔槽分割成中央感应膜、环绕感应膜及多个连接部。环绕感应膜环绕中央感应膜。各连接部连接环绕感应膜及中央感应膜。中央感应膜的底部吸收层至硅基板的中央距离等于环绕感应膜的底部吸收层至硅基板的环绕距离。
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公开(公告)号：CN111351566B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN201811584600.1
申请日：2018-12-24
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: G01H17/00
Abstract: 一种具监测功能的振动传感器，其包含基板、微机电振动感测芯片及特殊应用集成电路芯片。微机电振动感测芯片设置基板上，并用于侦测待测物所承受的振动以产生多个振动信号。特殊应用集成电路芯片设置基板上，且电性连接至微机电振动感测芯片，其包含取样模块、转换模块及分析模块。取样模块接收该些振动信号，并将该些振动信号转换为数字信号，再对数字信号进行滤波以产生多个时域数据。转换模块根据预先设定的数量值将该些时域数据转换为一频域数据。分析模块执行比对程序将频域数据与预设频谱特征表比对，并根据比对程序的比对结果发出通知信号。本发明尚提供一种振动信号监测方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114623963A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202110176238.X
申请日：2021-02-09
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种具有扭力传感器的心轴装置，其包括一轴件、一第一扭力传感器及一第二扭力传感器。轴件沿一轴向延伸。轴件包括一中央段、一第一侧段及一第二侧段。第一侧段及第二侧段设置于中央段的相对两端。中央段具有以轴向为扭转轴向的一中央扭转刚性。第一侧段具有以轴向为扭转轴向的一第一扭转刚性。第二侧段具有以轴向为扭转轴向的一第二扭转刚性。第一扭转刚性小于中央扭转刚性。第二扭转刚性小于中央扭转刚性。第一扭力传感器设置于第一侧段。第二扭力传感器设置于第二侧段。
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公开(公告)号：CN112240342A
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201910909797.X
申请日：2019-09-25
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种具内嵌式传感器的线性滑轨装置，其包括一轨道、一滑块、多个滚动元件、以及一感测模块。轨道沿一轴向延伸，且包括一第一凹槽。滑块可沿轴向移动，且包括一第二凹槽、一通道、至少一孔洞、以及至少一变形区块。通道由第一凹槽及第二凹槽耦合而成且沿轴向延伸。孔洞自滑块的一表面沿一嵌入轴线延伸至滑块内。滚动元件设置于通道内。感测模块设置于孔洞内，且可接触变形区块以感测一变形量。
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公开(公告)号：CN109958692B
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201711420639.5
申请日：2017-12-25
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: F16B13/06
Abstract: 本发明公开一种具有双固定端的装置，包括外壳、移动元件及转动元件。外壳包括第一膨胀部、第二膨胀部及连接部。第一定位结构设置于移动元件且防转结构设置于连接部。当移动元件与转动元件分别由外壳二端进入外壳且沿轴向耦合时，可使移动元件与转动元件相互靠近，进而撑开第一与第二膨胀部以形成双固定端。该具有双固定端装置可将感测器牢靠地固定于如墙面或机器设备等各种环境中。当该装置将感测器固定于冲压设备的孔洞中时，冲击力不会对感测器造成应力集中现象，进而提升感测器的可靠度。
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公开(公告)号：CN111386000A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201811622607.8
申请日：2018-12-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明公开一种微机电加热装置，包括一中央部、一外围部、一缝隙及一第一连接部。中央部包含一质心、一加热器及一第一连接点。加热器设置于中央部内。第一连接点位于中央部的一边缘。当加热器加热中央部时，第一连接点产生一位移。外围部环绕中央部。缝隙环绕中央部。缝隙设置于该中央部与该外围部之间。第一连接部沿一轴线连接中央部及外围部，且包含一第一内连接端及一第一外连接端。第一内连接端连接第一连接点。第一外连接端连接外围部。轴线通过第一连接点，轴线与连接质心及第一连接点的一连接线不平行。
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公开(公告)号：CN105043370B
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201410549648.4
申请日：2014-10-16
Applicant: 财团法人工业技术研究院
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本发明公开了具有支点元件的微型电机装置包括基板、第一框架、多个第一固定座以及多个支点元件。这些第一固定座位于第一框架内，以形成围绕垂直基板的轴线的区域(或称空间、空间区域、space、space area)。这些支点元件设置于第一框架内。各个支点元件包括支点端以及旋转端。各个支点端连接对应的各个第一固定座，且各个旋转端连接第一框架。各个支点端至轴线的距离皆相同，以使第一框架依轴线转动。此具有支点元件的微型电机装置适用于同时检测二轴以上的物理量，例如同时检测二轴以上的角速度、同时检测角速度及加速度、同时检测角速度及地磁强度等。
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