一种用于硼扩散工艺的石英炉门及设备

    公开(公告)号:CN202643913U

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN201220302081.7

    申请日:2012-06-26

    发明人: 张红妹

    IPC分类号: C30B31/10

    摘要: 本实用新型公开了一种用于硼扩散工艺的石英炉门,包括石英门本体,所述石英门本体的内壁附着有一层在硼扩散高温条件下化学性能稳定、且热胀冷缩系数低于所述石英门体材料的热胀冷缩系数的保护膜;本实用新型中通过在石英门本体内壁上设置高温条件下稳定性比较强、且热胀冷缩系数小的保护膜,避免了硼玻璃与石英门本体内壁的直接接触,缓解了石英门本体内壁由于较大热胀冷缩现象产生的较大应力,对石英门的损坏,可以提高石英炉门的使用寿命,并且延长石英炉门的维护周期,降低了石英炉门的频繁检修损耗、节省人力、物力,相应提高了生产效率和太阳能电池片的生产质量,进而可以大大降低太阳能电池片生产成本。此外,本实用新型还提供了一种包括上述石英炉门的设备。

    一种扩散炉的TC盲堵
    12.
    实用新型

    公开(公告)号:CN202558974U

    公开(公告)日:2012-11-28

    申请号:CN201220182378.4

    申请日:2012-04-26

    IPC分类号: C30B31/16

    摘要: 本实用新型公开了一种扩散炉的TC盲堵,用于太阳能电池扩散炉中,该TC盲堵包括接头部和盲管部,其中,接头部为凹半球接头,能够与太阳能电池扩散炉上的凸半球接头相配合;盲管部为一端与接头部相连通,而另一端密闭的直管,盲管部的内径不小于太阳能电池扩散炉的尾气管的外径,同时,盲管部还设置有与外界相连通的测压管。在使用本实用新型所提供的TC盲堵时,将TC盲堵安装于炉管的TC套管安装口处,用于替代TC套管。通过使用本实用新型所提供的TC盲堵,解决了因TC套管或尾气管与炉管发生粘连导致需要更换炉管而造成的扩散炉维护成本加大的问题。