一种靶材绑定定位工装
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119347280A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411800057.X

    申请日:2024-12-09

    Abstract: 本发明公开的一种靶材绑定定位工装,包括底座、靶材中心定位测量组件及多个靶材定位组件;底座包括相连接的底部定位机构和顶部定位机构;底部定位机构位于背板的外周侧,并与背板保持位置固定;顶部定位机构呈环形结构,其同轴设置在背板上方并环绕在靶材的外周侧;各靶材定位组件沿顶部定位机构周向等间隔分布,靶材定位组件沿径向可移动安装在顶部定位机构上,并用于抵接在靶材的外周壁上;靶材中心定位测量组件安装在顶部定位机构处,并用于测量靶材的位置变化,实现靶材材绑定时高精度中心定位,提升绑定效率。

    一种银合金靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118460971A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410200421.2

    申请日:2024-02-23

    Abstract: 本发明提供了一种银合金靶材及其制备方法和应用,属于有机发光二极管(OLED)器件的阳极材料技术领域。本发明在纯银中添加锌和钕,锌在银中的固溶度较高,添加锌可以形成固溶强化,增加银的强度,稀土钕元素在银合金中除了典型的固溶强化作用外,还能够改善银合金的凝固,从而产生细化晶粒的效果,并且在热处理过程中,钕元素也能起到细化晶粒的效果,同时在溅射成膜时,钕原子有钉扎作用,从而提高薄膜的粘附性能,控制锌和钕的含量,使得银合金靶材适合于溅射镀膜工艺,制备得到同时具有良好导电率、反射率、粘附性、表面粗糙度和可靠性的银合金薄膜和ITO/Ag合金/ITO薄膜。

    一种靶材的修复方法
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116676574A

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202310799759.X

    申请日:2023-07-03

    Abstract: 本发明提供了一种靶材的修复方法,包括如下步骤:采用冷喷涂将与待修复靶材成分相同的合金粉末填充于待修复靶材的修复区的沟槽内,得到一次修复靶材;对所述一次修复靶材的修复区进行摩擦处理,得到摩擦处理的靶材;对所述摩擦处理的靶材进行去应力退火处理,得到修复的靶材。本发明采用冷喷涂法能够保证修复区与原靶材的界面为焊接态的冶金结合,不会出现脱层等现象,能够实现废弃靶材的反复使用,大幅度提高了靶材的利用率;在冷喷涂初步修复后,再使用摩擦处理和去应力退火处理能够细化靶材修复区的晶粒尺寸,从而解决了靶材修复区晶粒粗大的问题,保证了溅射靶材的均匀性。

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