公开(公告)号：CN107326330A

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201710519890.0

申请日：2017-06-30

Applicant: 福州大学

Inventor： 李强 ,  郑钦龙 ,  曾发明 ,  何柯

IPC: C23C14/26 ,  C23C28/04

CPC classification number: C23C14/26 ,  C23C14/243 ,  C23C28/04

Abstract: 本发明公开了一种具有氧化铝多孔结构缓冲层的内热式一体化蒸发舟，所述蒸发舟的表面涂层总共包括两层，内层呈疏松多孔结构的Al2O3缓冲层，外层为致密、低孔隙率的耐腐蚀Al2O3涂层。首先采用旋涂浸渍工艺在基体表面制备厚度为0.1~0.3mmAl2O3缓冲层；再采用等离子喷涂技术在具有缓冲层的蒸发舟上喷涂制备厚度为0.5~1mm Al2O3耐腐蚀层。本发明采用复合工艺制备不同微观结构的Al2O3涂层蒸发舟，多孔结构的缓冲层在服役中不但可以起到应力减缓作用，而且还能防止后续喷涂带来的基体氧化问题；而致密、低孔率的Al2O3喷涂层又发挥了优良的耐腐蚀性，可广泛应用于真空蒸镀金属薄膜技术领域。