一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置

    公开(公告)号:CN116947102B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202310643329.9

    申请日:2023-06-01

    Abstract: 本发明公开了一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置,所述的方法如下:S1、将钼粉末填充在等离子体反应器放电区域内;S2、向等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六氟化硫气体,惰性气体被电离成等离子体,六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物;S3、氟原子和低氟硫化物与钼粉末发生反应,生成MoF6气体和硫单质。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与Mo进行反应生成MoF6,与传统以金属Mo和氟气(F2)在高温下(250℃以上)制备MoF6的方法相比,大幅度降低了反应的温度,从而大幅度降低了能耗,而且操作安全,实现了SF6的硫氟资源利用,解决了SF6转化率低的问题。

    以六氟化硫制备六氟化钼的装置及方法

    公开(公告)号:CN117339489A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311293699.0

    申请日:2023-10-08

    Abstract: 本发明提供了一种以六氟化硫制备六氟化钼的装置及方法。装置包括反应系统、回收系统、分离系统、收集腔室以及管道系统;其中,反应系统包括反应腔室和第一温度调节组件,反应腔室内填充有催化剂和金属钼;回收系统包括回收腔室和第二温度调节组件;分离系统包括分离腔室和第三温度调节组件;管道系统包括进气管和出气管,反应腔室分别与进气管、回收腔室连通,分离腔室分别与回收腔室、收集腔室连通。本申请实施例通过在反应系统中进行热催化法降解转化;在回收系统中回收液态和固态的低氟钼化物;在分离系统中收集液态的六氟化钼。实现六氟化硫气体的资源化再利用,能耗较低,降解效率较高,减少资源浪费,便于后期储存、运输和提纯。

    一种基于光电协同制备六氟化钨的方法和装置

    公开(公告)号:CN117285075A

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN202311214902.0

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于光电协同制备六氟化钨的方法和装置,本发明在等离子体反应器放电区域内沿着气体进入的方向依次填充光催化剂和金属钨,并对等离子体反应器放电区域进行光照射,背景气体在放电反应区域内产生大量的等离子体(高能电子),SF6在光催化和等离子体的协同作用下发生分解,SF6分解生成氟原子和SF5、SF4等低氟硫化物,产生的氟离子和SF5、SF4等低氟硫化物进一步与金属钨发生反应,生成WF6电子特气,不仅实现SF6的氟资源利用,而且以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离体子反应器中进行反应,操作安全,能耗低。

    一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置

    公开(公告)号:CN116947102A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202310643329.9

    申请日:2023-06-01

    Abstract: 本发明公开了一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置,所述的方法如下:S1、将钼粉末填充在等离子体反应器放电区域内;S2、向等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六氟化硫气体,惰性气体被电离成等离子体,六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物;S3、氟原子和低氟硫化物与钼粉末发生反应,生成MoF6气体和硫单质。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与Mo进行反应生成MoF6,与传统以金属Mo和氟气(F2)在高温下(250℃以上)制备MoF6的方法相比,大幅度降低了反应的温度,从而大幅度降低了能耗,而且操作安全,实现了SF6的硫氟资源利用,解决了SF6转化率低的问题。

    一种基于两种等离子体结合的六氟化硫转化的方法和装置

    公开(公告)号:CN119926324A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510040925.7

    申请日:2025-01-10

    Abstract: 本发明公开了一种基于两种等离子体结合的六氟化硫转化的方法和装置,本发明通过先通过介质阻挡放电‑射流结合反应器对六氟化硫气体或六氟化硫废气进行活化降解,随后六氟化硫的降解产物以等离子体射流的方式喷射入装有有机溶液(如甲醇)的气液反应器中与有机溶液进行反应,介质阻挡放电增加了活化分解率,而射流维持了等离子体状态,有机溶液与六氟化硫的降解产物进行反应,通过介质阻挡放电、射流与有机溶液三者协同作用,不仅大幅度提高了较高浓度的SF6的降解,而且使生成的含氟产物可进行资源化再次利用。

    一种以六氟化硫为氟源合成六氟化钨的方法和装置

    公开(公告)号:CN117023640A

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202311214889.9

    申请日:2023-09-20

    Abstract: 本发明公开了一种以六氟化硫为氟源合成六氟化钨的方法和装置,本发明等离子体将SF6解离为氟粒子和低氟硫化物(SFx),实现SF6解离产生的含氟粒子与金属钨发生原位氟化反应,将氟粒子转化为高附加值的WF6电子特气,合成了WF6电子特气的同时降解SF6气体,为SF6降解及资源化转化提供了新的方法和思路。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与W进行反应生成WF6,与传统以金属W和氟气(F2)在高温下制备WF6的方法相比,大幅度降低了反应的温度,从而大幅度降低了能耗。

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