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公开(公告)号：CN204479607U
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201520051938.6
申请日：2015-01-26
Applicant: 浙江大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本实用新型公开了一种光栅组微机械加速度传感器，该传感器包括四组发射接收装置、增反层、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块；本实用新型依据伍德异常现象，利用两层光栅由于加速度对质量块的牵引所产生的位移时，反射光产生脉冲式变化的现象，通过在两光栅层制作多组光栅，每组光栅中上下两层光栅初始相对位置的不同设定，使得每组光栅产生脉冲式变化对应的上下两层光栅的微位移量不同，对应的加速度也不同，从而对加速度信号细分，测量加速度。本实用新型实现了传感系统的小型化，精度高，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。
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