流量传感器
    12.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2705778Y

    公开(公告)日:2005-06-22

    申请号:CN200320116724.X

    申请日:2003-11-14

    CPC classification number: G01F1/6965 G01F1/6845

    Abstract: 一种流量传感器,流量传感器中因杂物附着等使表示测温体的测定温度与流体流量的关系的输出特性产生变化,而本实用新型能准确修正因杂物附着引起的误差。在基板表面形成薄膜状桥部,将桥部架空地支撑在基板的空隙部上。在桥部表面设有发热用加热器和测温体。在运算处理部的存储器内存储着初始状态中测温体的计测温度和作为计测对象的流体流量的关系(输出特性)。流量传感器在检测出使用中流量为零时测温体的计测温度后,求出初始状态中流量为零时的测温体的计测温度值与使用中流量为零时的测温体的计测温度之比,将计测温度之比乘以测温体的输出,修正测温体的输出,根据测温体输出的修正值和存储在存储装置内的关系求出流体的流量。

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