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公开(公告)号：CN111474709A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010468475.9
申请日：2020-05-28
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开一种耦合水束光纤的激光束聚焦方法及系统，设置相位板(6)，经准直扩束后的光束在相位板(6)进行相位调制后再生成无衍射光束，能降低无衍射光束的旁瓣效应，并提高中心光斑能量密度；设置正/负轴棱锥镜组合单元(7)将光束生成中心光斑小、准直区长的无衍射光束；利用退火算法对相位板(6)参数进行分析和优化，结合相位板(6)振幅透过率函数、正/负轴棱锥镜组合单元(7)振幅透过率函数、评价函数、水束-光束耦合条件对激光束准直扩束单元(5)、相位板(6)、正/负轴棱锥镜组合单元(7)做进一步的分析和优化，使得聚焦效果最优，提高光束的质量和水束-光束的耦合效率，降低水束-光束的耦合难度。
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公开(公告)号：CN108526091A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810325381.9
申请日：2018-04-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明为一种射流激光复合清洗方法和清洗系统，本方法空化射流冲击工件基材表面，产生水膜、水膜空化泡破溃冲击清洗基材表面，同时激光聚焦于水膜内，水膜在超热状态爆发沸腾、剧烈汽化，产生蒸汽泡冲击基材表面，延长空化射流的有效作用时间。本清洗系统包括空化射流装置、激光清洗装置；激光束和空化射流的中心线共面异轴，空化射流于工件表面产生水膜，激光束聚焦于水膜内与工件表面保持距离，激光束和空化射流协同作用于工作台上的工件表面进行清洗，效果明显优于现有清洗技术，可清除工件表面直径大于50nm的固体颗粒，满足晶圆基材表面加工要求。
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公开(公告)号：CN105817760A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610271857.6
申请日：2016-04-27
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/14
CPC classification number: B23K26/146 , B23K26/1488
Abstract: 本发明为一种水导激光加工系统的喷嘴防溅装置，工作缸顶部为激光聚光透镜，底部装喷嘴，其中部密封隔离石英窗下方多支入水管注水，经喷嘴孔形成引导激光束的水束。工作缸下方固连中空的中间壳体，定子固定于中间壳体下部，转子可转动地安装于定子外侧，挡盘固定于转子下方，挡盘大于中间壳体底部开口，挡盘中心孔径大于工作缸底部通孔径。定子、转子、挡盘中心孔、中间壳体与喷嘴孔的中心线重合。使用时，转子带动挡盘高速旋转，挡盘阻挡加工时溅射的水，挡盘上的水珠被甩下，不会积聚影响出射水束，防止拉偏水束烧蚀喷嘴，利于提高加工精度，改进水导激光加工质量，也延长了水导激光装置的工作寿命。本装置方便在现有水导激光设备上加装。
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公开(公告)号：CN118180600A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410309362.2
申请日：2024-03-19
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/064 , B23K26/70 , G02B27/09
Abstract: 本发明适用于激光加工领域,提供了一种激光整形聚焦系统,包括第一、二、三透镜；第一、三透镜为双凸正透镜,第二透镜为双凹负透镜；第一、二、三透镜分别包括第一、二曲面,第三、四曲面及第五、六曲面；第一至六曲面的曲率半径为51.47mm,‑51.47mm,‑53.032mm,53.032mm,102.5mm,‑102.5mm；第一至三透镜的中心厚度为5.9mm,3mm,5mm；第一第二第三透镜的外径为25.4。所有透镜的折射率均为1.52。第二、三曲面的间距为9‑12；第四、五曲面的间距为50‑60,单位为mm,公差为5％。该系统可将准直后的高斯光束整形成平顶光束并聚焦直接用于加工，能提高激光加工的效率和精度。
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公开(公告)号：CN112705839B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202011628989.2
申请日：2020-12-31
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种基于定位耦合的水导激光装置，包括底座、聚焦透镜、喷嘴和定位模块，所述喷嘴同轴安装于底座上；定位模块包括定位圆盘和压盖，定位圆盘同轴安装于底座上，底座与定位圆盘之间形成耦合水腔，耦合水腔中的液体从喷嘴喷出形成水射流；所述聚焦透镜为球透镜或半球透镜，其同轴安装于定位圆盘内且聚焦透镜的底部悬伸于耦合水腔中，在聚焦透镜与定位圆盘之间设有第一密封圈；所述压盖设于定位圆盘上并部分与聚焦透镜接触，压盖和定位圆盘以紧固件连接，两者之间设有第二密封圈；平行激光束入射至聚焦透镜，经聚焦透镜、耦合水腔后耦合到水射流中形成水束光纤。本发明所述水导激光装置结构简单，可最大限度减少从透镜到水束光纤距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112775540B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202110025015.3
申请日：2021-01-08
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/14 , B23K26/142
Abstract: 本发明提供一种直耦式水导激光耦合系统及方法，包括从上至下依次同轴固接的光传输腔、透镜固定腔、喷嘴托体，所述光传输腔光路通孔的顶端通过三轴光学移动平台固定有激光准直系统，透镜固定腔与光传输腔中部对接面开设可供球透镜或半球透镜置入定位的弧形透镜槽；喷嘴通过喷嘴盖锁定于喷嘴托体中部的凸台上，喷嘴顶端露出且涂覆可在激光照射下变色的光致变色材料。本发明提出一种直耦式水导激光耦合系统及方法，可简化激光光束与喷嘴中心的对准操作，准确判断激光光束与喷嘴的耦合情况，并具有喷嘴可装拆、密封性能好的优点。
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公开(公告)号：CN108326554B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN201810325364.5
申请日：2018-04-12
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23P23/00
Abstract: 本发明为一种激光水射流复合加工系统，射流喷嘴出射水射流，水射流落点在工件表面的加工路径上。激光器产生的激光束在处于保护壳体内的导引光纤中传播，导引光纤末端连接金刚石导引头。金刚石导引头的导光端与工件表面的距离小于100微米，激光在金刚石导引头内经多次全反射汇聚为直线光束输出，直接作用于水中工件表面的加工路径上。本发明激光束的光路处于保护壳体内，保证光束传播过程中不受射流溅射水雾的干扰，激光束和高压射流协同作用，准确高效地去除预定加工路径上的材料，激光光路稳定，激光光斑半径缩小，划切线宽缩小，提高加工精度和质量。
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公开(公告)号：CN108581223B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201810383169.8
申请日：2018-04-26
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/146 , B23K26/70
Abstract: 本发明为一种水导激光加工方法和系统，电极产生非匀强电场对水束作用，偏转后的水束竖直向下，激光聚焦于竖直向下的水束内，水束引导激光作用于工件。本系统工件固定于工作台上的水槽底面，配有1套偏转水束装置，喷嘴产生的水束与激光束的中心线处于同一平面，水束下方设置电极，在电极非匀强电场使水束偏转竖直向下，激光聚焦于竖直向下的水束内，该水束引导激光束作用于工作台上的工件。还可配2～5套偏转水束装置，各水束汇聚为竖直向下的总水束引导激光束。本发明激光的高温软化的工件表面材料同时水束冷却加工区域减小热损伤。本发明无需与激光束中心线一致的喷嘴，喷嘴不会烧蚀，显著降低装置的成本，有利于水导激光的推广应用。
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公开(公告)号：CN114903275A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210267293.4
申请日：2022-03-18
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供一种超声喷雾洁牙系统及方法，包括充电仓、牙刷头组件、紫外消毒组件、机身电动系统和储水箱，所述充电仓由底座、仓门和仓壁组成一个密闭不透光的空间，仓门一端可旋转运动；压电陶瓷雾化系统位于刷头箱表面，可对刷头箱中的液体雾化；紫外消毒灯可通过传感器感应控制其是否工作，传感器位于供电控制系统中；高速微型马达可将电能转换为高速震动的能量；储水箱中可盛放特制的液体用于辅助口腔清洁。本发明提出种超声喷雾洁牙系统及方法，可避免大气中的病菌、灰层落入牙刷；在高速震动气泡溃灭和喷雾射流高压冲击双重作用下进一步提高口腔清洁性；紫外消毒灯与超声波牙刷共同连接外接电源，并具有牙刷头可拆卸、密封性良好的优点。
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公开(公告)号：CN110052703A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910435090.X
申请日：2019-05-23
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/00 , B23K26/354 , B23K26/356
Abstract: 本发明公开了一种连续激光与超声复合表面微加工系统及方法，包括将连续激光器的激光束聚焦在靶材上的透镜、激光作用时间调节装置和靶材上下振幅调节装置，靶材上下振幅调节装置包括由超声波发生器控制的超声波变幅杆，变幅杆通过固定夹具安装于CNC数控平台上，靶材安装于变幅杆上；激光作用时间调节装置包括调速器控制转速的挡光转盘，挡光转盘上圆周均布开设有调节激光通过比的透光口，挡光转盘由升降机构和左右移动机构调节其在透镜与靶材之间的位置。本发明利用激光熔凝淬火原理提高靶材表面的表面性能，将靶材固定在超声波变幅杆上，加快靶材表面的对流换热，增强冷却效果，抛出熔渣、均匀化加工区域和细化晶粒的作用。
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