铝构件及其制造方法
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113195797B

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN201980080813.7

    申请日:2019-11-21

    Abstract: 本发明的目的是提供一种铝构件及其制造方法,所述铝构件通过比以往更简单的一次处理获得,并且白度高且白斑被抑制。本发明涉及的铝构件包括由铝或铝合金形成的母材、及形成在该母材表面上的阳极氧化覆膜,从所述阳极氧化覆膜的表面侧测量的铝构件的算术平均粗糙度Ra为0.1μm以上,粗糙度曲线要素的平均长度RSm为10μm以下,且亨特白度为60~90。

    铝构件及其制造方法
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111670270B

    公开(公告)日:2023-06-20

    申请号:CN201980010889.2

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本发明通过简便的初级处理提供高白度的铝构件。本发明的铝构件包括:母材,其由铝或铝合金形成;以及阳极氧化覆膜,其在母材表面上具有阻挡层,且在阻挡层上具有多孔层,阳极氧化覆膜含有P及S,且具有小于等于100μm的厚度,在从阳极氧化覆膜的表面朝向母材的深度方向上,距表面的深度大于等于500nm的区域中的S达到最大含量的深度大于P达到最大含量的深度,且S的最大含量大于P的最大含量。

    使用水合物的铝的制备方法

    公开(公告)号:CN111101156A

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201911012686.5

    申请日:2019-10-23

    Abstract: 本发明提供一种使用水合物的铝的制备方法,其为新型的制备方法,通过利用离子液体法,能够与以往相比能源消耗量少且低成本地从卤化铝水合物中高效率地使铝电沉积。所述铝的制备方法包括如下工序:由包含通式(1)所表示的离子液体与卤化铝水合物的混合物合成铝化合物的工序;使铝化合物溶解于腈类有机溶剂中而制作铝电解液的工序;加入配位体,从铝电解液所含的水合物中脱去水分子的工序;通过在铝电解液中对阳极与阴极之间通电来使铝电沉积于阴极上的工序。

    铝部件及其制造方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115917054A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202180047513.6

    申请日:2021-06-11

    Abstract: 一种铝部件(1),具有包含铝或铝合金的母材(2)和在母材(2)表面上形成的阳极氧化覆膜(3)。阳极氧化覆膜(3)具有包含非晶质的铝氧化物且形成于母材(2)上的非晶质层(31)和包含结晶性的铝氧化物且形成于非晶质层(31)上的结晶层(32)。通过在包含硼原子、pH为7.0以上12.0以下的电解液中对母材(2)实施阳极氧化处理,从而在母材(2)上形成阳极氧化覆膜(3),能够得到铝部件(1)。

    铝构件及其制造方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111670270A

    公开(公告)日:2020-09-15

    申请号:CN201980010889.2

    申请日:2019-03-25

    Abstract: 本发明通过简便的初级处理提供高白度的铝构件。本发明的铝构件包括:母材,其由铝或铝合金形成;以及阳极氧化覆膜,其在母材表面上具有阻挡层,且在阻挡层上具有多孔层,阳极氧化覆膜含有P及S,且具有小于等于100μm的厚度,在从阳极氧化覆膜的表面朝向母材的深度方向上,距表面的深度大于等于500nm的区域中的S达到最大含量的深度大于P达到最大含量的深度,且S的最大含量大于P的最大含量。

    半导体制造装置用铝构件及其制造方法

    公开(公告)号:CN117677735A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202280050736.2

    申请日:2022-09-01

    Inventor: 布村顺司

    Abstract: 本发明的半导体制造装置用铝构件(1)具有由铝或铝合金构成的母材(2)以及形成在母材(2)上的阳极氧化覆膜(3)。在阳极氧化覆膜(3)中,存在长轴径为0.1μm以上且15μm以下、并且包含Al原子以外的金属原子的异质粒子(31)。半导体制造装置用铝构件(1)的制造方法具有如下阳极氧化处理工序:使用酸性的电解液对在Al母相中具有第二相粒子的母材(2)实施阳极氧化处理,在母材(2)上形成包含异质粒子(31)的阳极氧化覆膜(3)。

    铝构件及其制造方法
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113195797A

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN201980080813.7

    申请日:2019-11-21

    Abstract: 本发明的目的是提供一种铝构件及其制造方法,所述铝构件通过比以往更简单的一次处理获得,并且白度高且白斑被抑制。本发明涉及的铝构件包括由铝或铝合金形成的母材、及形成在该母材表面上的阳极氧化覆膜,从所述阳极氧化覆膜的表面侧测量的铝构件的算术平均粗糙度Ra为0.1μm以上,粗糙度曲线要素的平均长度RSm为10μm以下,且亨特白度为60~90。

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