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公开(公告)号：CN110050125A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201880004933.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , G05B19/418
Abstract: 本发明具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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