公开(公告)号：CN105008305A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201380061954.7

申请日：2013-11-27

Applicant: 富山县 ,  日立金属株式会社

Inventor： 山中修司 ,  中嶋源卫 ,  加藤智绍 ,  田中谦弥 ,  唐木智明

IPC: C04B35/00 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22

CPC classification number: H01L41/1871 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/6582 ,  C04B2235/6584 ,  C04B2235/663 ,  C04B2235/80 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/273 ,  H01L41/43

Abstract: 本发明的压电陶瓷的制造方法包括：按照主成分以由一般式(1－s)ABO3－sBaZrO3(其中，A为选自碱金属的至少一种元素，B为过渡金属元素的至少一种元素且包含Nb，0.06＜s≤0.15)表示的组成比包含A、B、Ba、Zr的方式准备原料的工序；将上述原料成形而获得成形体的工序；在还原性气氛下对上述成形体进行烧制的工序；和将通过上述烧制工序得到的烧制体在氧化性气氛下进行热处理的工序。