公开(公告)号：CN103562433A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201280025831.3

申请日：2012-05-28

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 栗山义彦

IPC: C23C14/35

CPC classification number: H01J37/3405 ,  H01J37/3266 ,  H01J37/32669 ,  H01J37/3408 ,  H01J37/345

Abstract: 本发明提供一种具有直线部及拐角部的跑道形状的磁控溅射用磁场产生装置，其具备：中央磁极构件；包围中央磁极构件的外周磁极构件；以磁极沿一方向定向的方式设置在中央磁极构件与外周磁极构件之间的多个永久磁铁；对上述构件进行支承的非磁性基体构件，其中，至少在直线部配置的永久磁铁以中央磁极构件侧变低的方式倾斜，至少在直线部配置的永久磁铁的外侧的磁极面下部与外周磁极构件不抵接，且中央磁极构件与靶的距离和外周磁极构件与靶的距离相等，由此使靶表面产生均匀的磁场。

公开(公告)号：CN1220221C

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN02121706.8

申请日：2002-04-17

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 栗山义彦 ,  牛嶋诚 ,  东康幸

IPC: H01F13/00 ,  H01F41/02 ,  C21D8/12 ,  C21D9/00 ,  C21D10/00 ,  C22F3/00

CPC classification number: H05B6/22 ,  C21D1/04 ,  Y02P10/253

Abstract: 一种磁场中热处理炉，其内外环状永久磁铁组合体的轴线方向的磁场中心与热处理容器内的热处理件集合体的轴线方向的中心一致。该热处理炉包括：(a)磁场发生机构，该磁场发生机构包括：外侧环状永久磁铁组合体，其由具有使磁通沿直径方向定向分布的磁化方向的多个永久磁铁扇形体组成环状；内侧环状永久磁铁组合体，其设置在所述外侧环状磁铁组合体内侧且由具有使磁通沿直径方向定向分布的磁化方向的多个永久磁铁扇形体组成环状；(b)热处理机构，该热处理机构位于内侧环状永久磁铁组合体的中空部内，并从外侧至内侧依次设有冷却机构、加热机构及热处理容器，该热处理容器包含保持多个热处理件的热处理用保持器。

公开(公告)号：CN1389879A

公开(公告)日：2003-01-08

申请号：CN02121706.8

申请日：2002-04-17

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 栗山义彦 ,  牛嶋诚 ,  东康幸

IPC: H01F13/00 ,  H01F41/02 ,  C21D8/12 ,  C21D9/00 ,  C21D10/00 ,  C22F3/00

CPC classification number: H05B6/22 ,  C21D1/04 ,  Y02P10/253

Abstract: 一种磁场中热处理炉,其内外环状永久磁铁组合体的轴线方向的磁场中心与热处理容器内的热处理件集合体的轴线方向的中心基本一致。该热处理炉包括:(a)磁场发生机构,该磁场发生机构包括:外侧环状永久磁铁组合体,其由具有使磁通沿直径方向定向分布的磁化方向的多个永久磁铁扇形体组成环状;内侧环状永久磁铁组合体,其设置在所述外侧环状磁铁组合体内侧且由具有使磁通沿直径方向定向分布的磁化方向的多个永久磁铁扇形体组成环状;(b)热处理机构,该热处理机构位于内侧环状永久磁铁组合体的中空部内,并从外侧依次设有冷却机构、加热机构及热处理容器,该热处理容器包含保持多个热处理件的热处理用保持器。