公开(公告)号：CN1458178A

公开(公告)日：2003-11-26

申请号：CN03122274.9

申请日：2003-04-25

Applicant: 株式会社日本触媒

Inventor： 村上洋平 ,  吉田雅年 ,  鸿巢修 ,  后藤伸一 ,  荒川元博 ,  宇贺村忠庆

IPC: C08F246/00

CPC classification number: C08F246/00 ,  G03F7/0392

Abstract: 本发明就所述先有技术而言的目的在于，提供一种含有质子性离去基团的共聚物，它在特性上表现出高度的改变，如自由质子处理后与该处理前相比在碱性水溶液中的溶解性、对基片的粘附性、显影性、耐化学性和耐蚀刻性，并且该共聚物能适当地用于各种应用领域。本发明涉及含有质子性离去基团的共聚物，它具有各自通过一个碳原子与其主链相连的羟基、芳环和质子性离去基团，并且所述的含有质子性离去基团的共聚物在质子性离去基团消除之前表现出20×10－10～1,500×10－10米/秒的碱溶解性。