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公开(公告)号：CN116818657A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202211060742.4
申请日：2022-08-31
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本公开涉及光学检查方法、光学检查程序、处理装置以及光学检查装置。提供一种获取物体表面的信息的光学检查方法。在实施方式的光学检查方法中，使用通过了选择性地使来自物体表面的互不相同的多个预定波长的光通过的波长选择部的光，用具有区分地接收多个预定波长的光的颜色通道的图像传感器进行摄像以获取图像，进行推定在图像的各像素接收到光的颜色通道的通道数量作为颜色数量的颜色数量推定处理，基于颜色数量，进行识别来自物体表面的散射光分布(BRDF)的散射光分布识别处理或者识别物体表面的状态的表面状态识别处理中的至少一方的处理。
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