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公开(公告)号：CN100566154C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200680021599.0
申请日：2006-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/0095 , H03H9/0004 , H03H9/0207 , H03H9/02157 , H03H9/564
Abstract: 在平衡-不平衡型多模薄膜弹性波谐振器滤波器(100)中，第1下部电极(102)的面积，与第2及第3下部电极(104、106)和将第2及第3下部电极(104、106)分离的区域的合计面积大致相等。第1上部电极(103)的面积，与第2及第3上部电极(105、107)和将第2及第3上部电极(105、107)分离的区域的合计面积大致相等。第3下部电极(106)与第2上部电极(105)、以及第3上部电极(107)与第2下部电极(104)分别对置地配置。第2下部电极(104)的一部分与第2上部电极(105)的一部分对置地配置。
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公开(公告)号：CN100563101C
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200680023789.6
申请日：2006-06-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 在基板部(40)与第2支承部(20)之间设有第1支承部(30)。该第1支承部(30)通过由具有比压电体(11)及基板部(40)高的声阻抗的材料形成的膜、或者由Q值比压电体(11)及基板部(40)小的材料形成的膜等构成。通过该第1支承部(30)的插入，从第2支承部(20)朝向基板部(40)的振动的大半被反射(箭头(a))，并且防止从第2支承部(20)向基板部(40)传递的振动被基板部(40)的底面反射而向振动部(10)的方向返回(箭头(b))。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101228691A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200680026521.8
申请日：2006-08-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03H9/17 , H03H3/02 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/0514 , H03H9/13 , H03H9/172 , H03H9/175 , H03H2003/025 , Y10T29/42
Abstract: 压电谐振器具备：由压电薄膜构成的压电体层(101)；第一电极(102)，形成在压电体层(101)的一个主面上，并且其断面具有将与压电体层(101)相接的一侧作为长边的台形形状；及第二电极(103)，形成在压电体层(101)的另一个主面上，并且其断面具有将与压电体层(101)相接的一侧作为长边的台形形状。
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公开(公告)号：CN102449906A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201180002256.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/1057 , B81B3/00 , B81B7/0077 , B81C1/00333 , B81C1/00476 , H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H9/2447
Abstract: 本发明的MEMS元件具有：在包括基板(1)、封装薄膜(7)、在垂直于基板(1)的表面的方向上隔着间隙而具有相互重叠的区域的、梁状结构体的可动部(3)和电极(5)；以及在基板1和封装薄膜(7)之间具有隔着电极(5)而形成的第一和第二空腔，其中，在垂直于基板表面的方向上，在可动部3侧中将空腔设为第一空腔(9)，将另一个空腔设为第二空腔时，在平行于基板表面的方向上，将第一空腔(9)与电极(5)接触的侧壁(A)的内侧表面(a)配置成比第二空腔(10)与侧壁(B)的电极(5)接触的内侧表面(b)更靠内侧，从而即使从封装薄膜(7)的外侧施加了机械应力，可动部(3)和电极(5)也不会碰撞。
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公开(公告)号：CN100590969C
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200610137416.3
申请日：2006-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 根据本发明的声共振器包括衬底105、置于衬底105上的支承部分104、置于支承部分104上的下电极103、置于下电极103上的压电体101、以及置于压电体101上的上电极102。下电极103、压电体101和上电极102构成一个振动部分107。用于支承振动部分107的支承部分104成形为其垂直横截面的至少一部分具有曲率。
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公开(公告)号：CN101213744A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200680023789.6
申请日：2006-06-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 在基板部(40)与第2支承部(20)之间设有第1支承部(30)。该第1支承部(30)通过由具有比压电体(11)及基板部(40)高的声阻抗的材料形成的膜、或者由Q值比压电体(11)及基板部(40)小的材料形成的膜等构成。通过该第1支承部(30)的插入，从第2支承部(20)朝向基板部(40)的振动的大半被反射(箭头(a))，并且防止从第2支承部(20)向基板部(40)传递的振动被基板部(40)的底面反射而向振动部(10)的方向返回(箭头(b))。
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公开(公告)号：CN1953323A
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200610137416.3
申请日：2006-10-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 根据本发明的声共振器包括衬底105、置于衬底105上的支承部分104、置于支承部分104上的下电极103、置于下电极103上的压电体101、以及置于压电体101上的上电极102。下电极103、压电体101和上电极102构成一个振动部分107。用于支承振动部分107的支承部分104成形为其垂直横截面的至少一部分具有曲率。
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