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公开(公告)号：CN101553599A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200780045652.5
申请日：2007-09-19
Applicant: 普林斯顿大学理事会
Inventor： S·瓦格纳
Abstract: 公开了在表面上形成多层涂层的方法。该方法包括提供前体材料源和将前体材料输送到与待涂覆表面邻接的反应位置。在第一组反应条件下，使用单一前体材料源通过化学气相沉积在该表面上方沉积第一层。在第二组反应条件下，使用单一前体材料源通过化学气相沉积在该表面上方沉积第二层。第一层可以具有主要是聚合物的组分，而第二层可以具有主要是非聚合物的组分。化学气相沉积处理可以是等离子体增强的并且可以使用反应物气体来进行。前体材料可以是有机硅化合物例如硅氧烷。第一和第二层可以包含各种类型的聚合物材料例如硅酮聚合物和各种类型的非聚合物材料例如硅氧化物。该多层涂层可以具有各种适于与有机发光器件一起使用的性能，例如光学透明性、不可渗透性和/或柔韧性。
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