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公开(公告)号：CN109641248B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201780052365.0
申请日：2017-08-31
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种抑制蚀刻后的形状变化，并且在获得良好的抗蚀剂密接性及蚀刻加工性方面较佳的金属掩模用原材料及其制造方法。一种金属掩模用原材料，轧制方向上的表面粗糙度及与轧制方向正交的方向上的表面粗糙度均为0.05μm≤Ra≤0.25μm，Rz≤1.5μm，所述金属掩模用原材料中，与轧制方向正交的方向上的偏度Rsk为0以上，自所述金属掩模用原材料切取长度150mm、宽度30mm的试样，对所述试样从单侧进行蚀刻，除去所述试样的板厚的60％时的翘曲量为15mm以下，板厚为0.10mm以上且0.5mm以下。
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公开(公告)号：CN111788017A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201980013292.3
申请日：2019-02-13
Applicant: 日立金属株式会社
IPC: B21C47/28
Abstract: 本发明提供一种金属薄带卷材及其制造方法，在将板厚薄的金属薄带卷取于卷取环时，抑制伤痕或变形，并且将制造成本抑制地低廉，作业性、维护性也良好。一种金属薄带卷材的制造方法及金属薄带卷材，所述金属薄带卷材的制造方法将金属薄带卷取于卷取环而获得金属薄带卷材，且将板厚为0.3mm以下的金属薄带卷绕于卷取环，其中所述卷取环在外周面的至少一部分贴附有包含橡胶带的高摩擦阻力材料。
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公开(公告)号：CN106955892B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201610865651.6
申请日：2016-09-29
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种Fe－Ni系合金薄板的制造方法，该Fe－Ni系合金薄板是厚度为0.25mm以下的较薄的材料，能兼顾在宽幅下优良的陡度和低成本。Fe－Ni系合金薄板的制造方法的特征在于，包括经热轧来准备冷轧用坯料的工序以及反复进行一次以上的冷轧和连续退火的冷轧工序，该冷轧用坯料以质量％计包括Ni+Co：35.0％～43.0％(其中，Co为0～6.0％)、Si：0.5％以下、Mn：1.0％以下，其余部分由Fe和杂质形成，最终的冷精轧在每单位宽度的轧制负荷为150kgf/mm以下、轧制速度为1.7m/s以上、前方张力为250MPa～400MPa的条件下进行，使厚度为0.25mm以下，在所述最终的冷精轧后不进行热处理。
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公开(公告)号：CN109641248A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780052365.0
申请日：2017-08-31
Applicant: 日立金属株式会社
Abstract: 本发明提供一种抑制蚀刻后的形状变化，并且在获得良好的抗蚀剂密接性及蚀刻加工性方面较佳的金属掩模用原材料及其制造方法。一种金属掩模用原材料，轧制方向上的表面粗糙度及与轧制方向正交的方向上的表面粗糙度均为0.05μm≤Ra≤0.25μm，Rz≤1.5μm以下，所述金属掩模用原材料中，与轧制方向正交的方向上的偏度Rsk为0以上，自所述金属掩模用原材料切取长度150mm、宽度30mm的试样，对所述试样从单侧进行蚀刻，除去所述试样的板厚的60％时的翘曲量为15mm以下，板厚为0.10mm以上且0.5mm以下。
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