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公开(公告)号：CN210090344U
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201920168088.6
申请日：2019-01-30
Applicant: 扬州大学
IPC: G01N23/2204
Abstract: 本实用新型公开了多自由度可控的扫描电镜内置夹具，包括底座(3)、支撑台(8)、电机(2)、工作台(7)和第一支撑轴(4)，底座(3)上设置呈三角分布的第一支撑轴(4)，工作台(7)通过电磁夹(5)套设在第一支撑轴(4)上，电磁夹(5)下方设置带有螺纹的竖杆(1)，带有螺纹的竖杆(1)与电机(2)转轴上设置的齿轮连接，电机(2)下方为支撑台(8)，支撑台(8)位于底座(3)上，工作台(7)中心设置凹槽，凹槽底部设置激光传感器(6)，电磁夹(5)和激光传感器(6)分别与电子计算机电连接。该本实用新型可使被测试样表面与电子束呈最佳角度扫描，便于操作，提高扫面精度。
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