公开(公告)号：CN103849851A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310641578.0

申请日：2013-12-03

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 吴定烘 ,  安阵修 ,  林昌默 ,  梁基模 ,  吴商润

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

CPC classification number: C23C14/086 ,  C23C14/34 ,  C23C14/541 ,  C23C14/562

Abstract: 卷对卷溅射方法包括：将在拆卷机辊上卷绕的柔性基板转运到沉积部分，在所述柔性基板上形成沉积膜，并在卷线机辊上卷绕所述柔性基板。所述沉积部分包括第一沉积部分。所述第一沉积部分包括第一溅射部分和加热器，所述第一溅射部分在所述柔性基板的一个表面上沉积第一靶材料，并且所述加热器布置在所述柔性基板的另一表面的一侧以加热所述柔性基板。

公开(公告)号：CN102416738A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201110235020.3

申请日：2011-08-11

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 安阵修 ,  吴定烘 ,  金颢祐 ,  李钟均 ,  李在弘

IPC: B32B27/06

Abstract: 一种多层制品，包括基板；树脂图案层；和薄膜涂层。所述基板、所述树脂图案层和所述薄膜涂层互相依次层叠。保护膜或第一保护涂层层叠在背离所述树脂图案层的所述薄膜涂层的表面上。第二保护涂层插入所述薄膜涂层与所述保护膜或所述第一保护涂层之间。底层涂层插入所述树脂图案层和所述薄膜涂层之间。