专利检索 ap:("广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院") AND inv:"张尚权" 第 2 页

11.

实用新型
一种导电铜排绝缘层缺陷检测装置有权

公开(公告)号：CN219122081U

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202222559864.X

申请日：2022-09-27

申请人： 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院

发明人： 郑磊 , 张尚权

IPC分类号： G01N23/04

摘要： 本实用新型公开了一种导电铜排绝缘层缺陷检测装置，包括：载物台、X射线辐射装置和影像接收装置；载物台用于承载绝缘铜排；X射线辐射装置用于对承载于载物台的绝缘铜排照射并形成影像；影像接收装置用于接收影像。在本方案中，采用X射线检测方式对铜排绝缘层内部的气泡孔隙等缺陷进行检测，也就是通过铜排绝缘层内部气泡产生的密度差异来检测残存气泡，从而有助于解决了铜排微小缺陷无法检测或人工检测精度差、测量误差大、经常出现误判、严重影响生产合格率等问题。