公开(公告)号：CN112490171B

公开(公告)日：2023-12-19

申请号：CN202011310023.4

申请日：2020-11-20

Applicant: 浙江大学

Inventor： 汪延成 ,  程佳峰 ,  梅德庆 ,  沈文杰

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677 ,  H02N2/00

Abstract: 本发明公开了一种基于近场声悬浮原理的盘片非接触吸附装置。包括超声振动组件、吸盘和盘片，超声振动组件安装在吸盘上，盘片置于吸盘下方；压电陶瓷连接超声电源产生高频振动，经变幅杆传递到吸盘表面；盘片置于吸盘下方，压缩气体从导气柱流入缓冲腔经环状弧形间隙流出，在盘片上方产生伯努利负压吸附硅片；高频振动的吸盘对置于其下的盘片产生近场声悬浮力，改善盘片受力均匀性，并通过橡胶钉对盘片进行水平限位。本发明通过对整个吸盘施加超声振动和环状弧形出口流道的设计，并通过橡胶钉对盘片进行水平限位，增大了盘片的非接触吸附能力，改善了硅片受力均匀性，减小了硅片的变形损伤，提高吸附能力和稳定性。

公开(公告)号：CN201330826Y

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200820171399.X

申请日：2008-12-19

Applicant: 浙江大学宁波理工学院

Inventor： 宋瑞银 ,  沈文杰 ,  应涵秉

IPC: F16H35/02 ,  F16H13/08

Abstract: 本实用新型公开了一种行波减速传动机构，包括均与机座(3)连接的输入轴(1)和输出轴(5)，输入轴(1)轴线与输出轴(5)轴线在同一条直线上，输入轴(1)与输出轴(5)之间设有弹性应变层(4)，弹性应变层(4)周边与机座(3)固定；在输入轴(1)与弹性应变层(4)之间设有若干个滚柱(8)，输入轴(1)端面上有与滚柱(8)相配的凹槽，滚柱(8)沿输入轴(1)接触面圆周方向均匀分布；输入轴(1)与输出轴(5)通过机座(3)压紧；弹性应变层(4)与滚柱(8)接触面为光滑面，与输出轴(5)接触面为粗糙面。采用以上结构后，由于省略了齿轮减速传动中许多零部件，因此结构简单、制造成本低。