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公开(公告)号：CN113061843A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110306778.5
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和具备其的蒸镀掩模装置。为了制造蒸镀掩模而使用的金属板具有30μm以下的厚度。通过利用EBSD法测定出现在金属板的截面中的晶粒并对测定结果进行分析而算出的晶粒的平均截面积为0.5μm2以上且50μm2以下。平均截面积通过在将晶体取向之差为5度以上的部分认定为晶界的条件下利用面积法对由EBSD法得到的测定结果进行分析而算出。
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公开(公告)号：CN109778114A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811344277.0
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。金属板具有位于金属板的表面的两个以上的凹坑。用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法具备下述检查工序：基于位于金属板的表面的一部分的两个以上的凹坑的容积的总和，判定金属板的优劣。
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公开(公告)号：CN113774323A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111239868.3
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。金属板具有位于金属板的表面的两个以上的凹坑。用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法具备下述检查工序：基于位于金属板的表面的一部分的两个以上的凹坑的容积的总和，判定金属板的优劣。
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公开(公告)号：CN109778114B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201811344277.0
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。金属板具有位于金属板的表面的两个以上的凹坑。用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法具备下述检查工序：基于位于金属板的表面的一部分的两个以上的凹坑的容积的总和，判定金属板的优劣。
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公开(公告)号：CN109778113B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201811344229.1
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和具备其的蒸镀掩模装置。为了制造蒸镀掩模而使用的金属板具有30μm以下的厚度。通过利用EBSD法测定出现在金属板的截面中的晶粒并对测定结果进行分析而算出的晶粒的平均截面积为0.5μm2以上且50μm2以下。平均截面积通过在将晶体取向之差为5度以上的部分认定为晶界的条件下利用面积法对由EBSD法得到的测定结果进行分析而算出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111188007A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN202010069368.9
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模及其制造方法、蒸镀掩模装置以及蒸镀方法。一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，长侧面具有第1部分，第1部分包括：第1端部，其位于第1面侧；和第2端部，其位于第2面侧，且位于比第1端部靠内侧的位置，并且第1部分向内侧凹陷，第1端部与第1面和长侧面相连接的第1连接部一致，第1连接部位于与第1面相同的平面上。
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公开(公告)号：CN110438447A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910813046.8
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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公开(公告)号：CN109778115A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811345197.7
申请日：2018-11-13
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其检查方法和制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和蒸镀掩模装置。金属板具备具有金属板的长度方向和与长度方向垂直的宽度方向的表面。在使光入射到表面时观测到的反射光之中，在与表面垂直的至少一个平面内以45°±0.2°的角度从表面射出的反射光的表面反射率为8％以上且25％以下。
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公开(公告)号：CN107916396A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201710897048.0
申请日：2017-09-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 蒸镀掩模的制造方法、中间产品和蒸镀掩模。制造可抑制长边变形的蒸镀掩模。蒸镀掩模的制造方法具备：准备金属板的工序；加工工序，将金属板加工成中间产品，该中间产品具备：多个蒸镀掩模部分，它们包括一对长边和一对短边，并且形成有多个贯通孔；和支承部分，其围绕多个蒸镀掩模部分，并且被局部地连接于多个蒸镀掩模部分的短边；以及分离工序，将蒸镀掩模部分从支承部分分离而得到蒸镀掩模。在中间产品中，蒸镀掩模部分的长边未与支持部分连接。
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公开(公告)号：CN113684445B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202111001437.3
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供中间制品、蒸镀掩模的制造方法以及对位方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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