公开(公告)号：CN210945753U

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201921294876.6

申请日：2019-08-09

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 细田哲史 ,  村田佳则

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24

Abstract: 本实用新型提供一种蒸镀掩模和蒸镀掩模装置。蒸镀掩模具有：掩模，其具有形成有第1贯通孔的镀敷层；以及支承体，其与掩模接合，并形成有在俯视时与第1贯通孔重叠的第2贯通孔。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208485938U

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201821059026.3

申请日：2018-07-05

Applicant: 大日本印刷株式会社

Inventor： 牛草昌人 ,  中村友祐 ,  冈本英介 ,  村田佳则

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24

Abstract: 本实用新型涉及蒸镀掩模和蒸镀掩模装置。蒸镀掩模(20)具备：第一掩模(30)，其形成有开口部(35)；和第二掩模(40)，其与第一掩模(30)重叠，形成有复数个具有比开口部(35)的面方向尺寸小的面方向尺寸的贯通孔(45)，该蒸镀掩模(20)具有使第二掩模(40)和第一掩模(30)相互接合的复数个接合部(16)，复数个接合部(16)沿着第二掩模(40)的外缘(43)排列，在第二掩模(40)的外缘(43)的与相邻的两个接合部(16)之间对应的位置，形成有切口(46)。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利