公开(公告)号：CN107338477A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201710222410.4

申请日：2017-04-06

Applicant: 国立大学法人大阪大学 ,  株式会社赛奧科思 ,  住友化学株式会社

Inventor： 森勇介 ,  吉村政志 ,  今出完 ,  今西正幸 ,  柴田真佐知 ,  吉田丈洋

IPC: C30B29/40 ,  C30B25/18 ,  C30B19/12 ,  H01L21/02 ,  H01L33/00

CPC classification number: C30B25/02 ,  C30B25/20 ,  C30B29/406 ,  C30B29/40 ,  C30B19/12 ,  C30B25/18 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/0262 ,  H01L33/0075

Abstract: 本发明的课题在于使用经大直径化的结晶生长用基板制造优质的氮化物结晶基板。解决方法具有：准备结晶生长用基板的第1工序，所述结晶生长用基板具备按照主面相互平行、侧面相互抵接的方式配置成平面状的包含氮化物结晶的多个晶种基板，从多个晶种基板之中任意选择的邻接的晶种基板间的晶格常数之差为 以内；和在结晶生长用基板所具有的基底面上使结晶膜生长的第2工序。