公开(公告)号：CN101166927B

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN200580049488.6

申请日：2005-04-13

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 青山达人 ,  矢岛孝视 ,  森本雅义

IPC: F16K35/00

CPC classification number: F16K7/16 ,  F16K35/027 ,  F16K35/04

Abstract: 本发明的目的是提供误动作防止手动阀，该阀能在确保打开和关闭该阀的可操作性的同时防止误动作。为实现该目的，本发明的误动作防止手动阀(1)包括锁定机构，该锁定机构包括抵抗相对于外壳(71)的旋转而被保持的平行销(75)、以及以可与平行销(75)接合的方式设置在手柄(72)中的副手柄(73)。平行销(75)或副手柄(73)由锁定弹簧(77)推压，使得该副手柄与平行销(75)接合，从而制止手柄(72)旋转。另一方面的误动作防止手动阀(2)包括：锁定机构，该锁定机构包括抵抗相对于外壳(171)的旋转被保持的弹簧销(175)；形成在手柄(172)中以接收弹簧销(175)的凸轮凹槽(172a)；以及与手柄(172)一体设置并由弹簧(177)推压的副手柄(173)。

公开(公告)号：CN100455830C

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200580028620.5

申请日：2005-07-22

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 青山达人 ,  佐藤正义

IPC: F16B41/00

CPC classification number: F16B41/002

Abstract: 为了提供用于半导体制造装置、保持有必要的保持力、螺栓的拔出插入容易、且廉价的螺栓脱落防止构造以及保持环，在形成有使主体固定螺栓(10)贯通的螺纹通孔(12)的被固定体的、与和主体固定螺栓(10)头抵接的表面相反的一侧的表面形成有直径比螺纹通孔(12)大的座孔(12a)，通过在座孔(12a)上安装保持环(13)而防止主体固定螺栓(10)的脱落，所述保持环(13)，外周为圆筒形状，后端部的直径大于座孔(12a)的内径，前端部的直径与座孔(12a)的内径相同或更小，在前端部形成有与主体固定螺栓(10)的牙顶部扣合的螺栓扣合部(13a)。

公开(公告)号：CN101006277A

公开(公告)日：2007-07-25

申请号：CN200580028620.5

申请日：2005-07-22

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 青山达人 ,  佐藤正义

IPC: F16B41/00

CPC classification number: F16B41/002

Abstract: 为了提供用于半导体制造装置、保持有必要的保持力、螺栓的拔出插入容易、且廉价的螺栓脱落防止构造以及保持环，在形成有使主体固定螺栓(10)贯通的螺纹通孔(12)的被固定体的、与和主体固定螺栓(10)头抵接的表面相反的一侧的表面形成有直径比螺纹通孔(12)大的座孔(12a)，通过在座孔(12a)上安装保持环(13)而防止主体固定螺栓(10)的脱落，所述保持环(13)，外周为圆筒形状，后端部的直径大于座孔(12a)的内径，前端部的直径与座孔(12a)的内径相同或更小，在前端部形成有与主体固定螺栓(10)的牙顶部扣合的螺栓扣合部(13a)。

公开(公告)号：CN1950931A

公开(公告)日：2007-04-18

申请号：CN200580014989.0

申请日：2005-04-15

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 武市昭宏 ,  青山达人 ,  三轮敏一 ,  井上贵史

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/455 ,  F17D1/04

CPC classification number: C23C16/45561 ,  C23C16/455 ,  F17D1/04 ,  Y02E60/34

Abstract: 本发明目的在于提供一种对在常温常压下容易液化的过程气体进行加热保温同时进行供给的气体供给集成单元。设在出口流路上的第一手动阀22、设在用于连通该第一手动阀22和过程气体共用流路44的位置上的气动阀26、以及用于连通该第一手动阀22和清洁气体共用流路43的位置上的第二手动阀25通过流路块46和单元固定板15串联连成一体而构成气体单元，所述气体供给集成单元包括多个气体单元，其中设有：保持部件18，截面呈コ字形，嵌合有流路块46和单元固定板15；和平面加热器16，夹持固定在保持部件18与流路块46及所述单元固定板15之间。