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公开(公告)号:CN103983341A
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201410213410.4
申请日:2014-05-20
Applicant: 厦门大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种高精度激光散斑微振动测量系统,包括成像透镜、分束器、空间光调制器、光探测器及调制器驱动系统,所述成像透镜、分束器、空间光调制器及光探测器依次光连接,所述调制器驱动系统与所述分束器光连接,并输出驱动信号到空间光调制器。本发明采用自适应的空间光调制器代替空间光滤波器,能够根据环境的变换进行自适应调整,使得空间光的透过率随着测量环境的变化而变化,从而提高了测量精度。