公开(公告)号：CN104037248A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410320202.4

申请日：2014-07-08

Applicant: 厦门大学

Inventor： 张风燕 ,  陈文志 ,  陈伟 ,  黄瑄 ,  陈朝 ,  程其进 ,  云大钦 ,  张彬彬 ,  冯嘉

IPC: H01L31/032 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/0322

Abstract: 本发明公开了一种铜铟镓硫硒薄膜材料的制备方法，包括如下步骤：(1)根据Cu1～xIn1～yGamSe2～zSn式中铜、铟、镓的化学计量比，将铜、铟、镓的卤族化合物或硝酸盐溶解于低碳醇中，配置成含铜铟镓的低碳醇溶液；(2)将乙基纤维素缓慢加入步骤(1)制备的铜铟镓的低碳醇溶液中搅拌混合均匀，再加入松油醇的低碳醇溶液，搅拌混合直至溶液变为粘稠液；(3)在非真空条件下将粘稠液刮涂到衬底上于130～160℃烘干10～30分钟，再加热氧化得到铜铟镓氧化物；(4)铜铟镓氧化物在氢氩混合气氛中加热氢化还原形成铜铟镓合金；(5)铜铟镓合金用硫粉硫化后再用硒粉硒化，即得所述铜铟镓硫硒薄膜材料。本发明的能耗少、工艺简单，产品成本低廉。