-
公开(公告)号:CN205723580U
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201620411546.0
申请日:2016-05-09
Applicant: 厦门市计量检定测试院 , 厦门大学
IPC: H01L31/105 , H01L31/0232 , H01L31/0288
Abstract: 本实用新型公开了一种Si基Ge混合型波导光电探测器,包括波导和锗探测器;所述的波导与锗探测器耦合;所述的波导采用大截面SOI脊型波导,锗探测器采用PIN结构。由于本实用新型采用大截面的SOI脊型波导,以减少光纤和波导的耦合损耗,入射光既能通过端面直接耦合到Ge器件,又能通过垂直耦合从SOI波导耦合到Ge,以提高耦合效率,锗探测器采用PIN结构,在硅层以及锗层的顶端有不同性质的参杂,以形成一个垂直的P‑I‑N结。