Si基Ge混合型波导光电探测器

    公开(公告)号:CN205723580U

    公开(公告)日:2016-11-23

    申请号:CN201620411546.0

    申请日:2016-05-09

    Abstract: 本实用新型公开了一种Si基Ge混合型波导光电探测器,包括波导和锗探测器;所述的波导与锗探测器耦合;所述的波导采用大截面SOI脊型波导,锗探测器采用PIN结构。由于本实用新型采用大截面的SOI脊型波导,以减少光纤和波导的耦合损耗,入射光既能通过端面直接耦合到Ge器件,又能通过垂直耦合从SOI波导耦合到Ge,以提高耦合效率,锗探测器采用PIN结构,在硅层以及锗层的顶端有不同性质的参杂,以形成一个垂直的P‑I‑N结。

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