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公开(公告)号：CN107117609A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710368001.5
申请日：2017-05-23
Applicant: 厦门大学
IPC: C01B32/194 , G01N21/65
CPC classification number: G01N21/65
Abstract: 本发明涉及一种带光学原位检测的石墨烯减薄装置，该装置设有减薄光路单元、激发光路单元、原位检测光路单元、工作台以及计算机等。减薄光路单元发出的第一激光束用于石墨烯的减薄，激发光路单元发出的第二激光束用于激发被加工区域的石墨烯产生拉曼散射。原位检测光路单元收集石墨烯产生的拉曼散射信号，并根据拉曼散射信号2D峰与G峰强度的比值及拉曼峰位置的偏移大小得到被加工区域石墨烯的层数与温度信息。本发明装置可同时对局部不均匀的石墨烯样品进行局部厚度测量与减薄，装置根据实际测得的被加工区域的石墨烯层数，调节激光功率与减薄时间，精确控制石墨烯的减薄层数，从而得到层数均匀、可控的石墨烯薄膜。
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公开(公告)号：CN106970068A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710398683.4
申请日：2017-05-31
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/658
Abstract: 本发明公开了一种快速制备大面积表面增强拉曼散射基底的方法，包括1)在透明基底上制备光固化胶；2)将带有光固化胶的透明基底置于靶材上方，激光脉冲穿过透明基底和光固化胶后聚焦于靶材表面；靶材吸收激光脉冲后生成纳米颗粒沉积在光固化胶表面；3)曝光使光固化胶固化以使沉积的纳米颗粒固定在透明基底上；4)在纳米颗粒上沉积金属薄膜，形成金属纳米结构，得到表面增强拉曼散射基底。本发明使用脉冲激光将靶材生成的纳米颗粒直接沉积于透明基底表面，并可通过调控靶材与透明基底之间的距离，对纳米颗粒的大小进行选择，可控性好，实现了低成本、高效、快速地制备大面积的SERS基底，且制得的SERS基底灵敏度高、一致性好、背景信号纯净。
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公开(公告)号：CN106947956A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710159904.2
申请日：2017-03-17
Applicant: 厦门大学
IPC: C23C16/26 , C23C16/48 , C01B32/186
CPC classification number: C23C16/26 , C01B2204/02 , C01B2204/04 , C01P2002/82 , C01P2004/61 , C23C16/483
Abstract: 本发明公开了一种层数可控的石墨烯微纳结构快速制备装置，包括激光控制及聚焦单元、温度监控单元、激光光斑监测单元、真空及流量控制单元、六轴精密平移台和气浮隔振平台；所述装置采用激光辅助的化学气相沉积的方法实现石墨烯微纳结构快速制备，制备过程可对制备参数：激光功率，激光光斑大小，基底运动速度，气体流量，真空腔腔压，基底局部温度场进行精密调节与监控，从而制备出高质量石墨烯微纳结构。本发明装置通过改变制备参数，可改变所合成的石墨烯的层数，实现层数可控的石墨烯微纳结构的制备；本装置还可以通过改变聚焦光斑的大小制备出不同线宽的石墨烯微纳结构。
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公开(公告)号：CN106868471A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710159903.8
申请日：2017-03-17
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种使用双光束制备石墨烯图形的方法及装置，所述方法包括连续激光束与短脉冲激光束同时聚焦到镍基底表面，短脉冲光束在激光脉宽时间内迅速将镍基底表面的光束聚焦区域加热至石墨烯生长温度，汇聚的连续激光束的持续加热使得该区域的温度稳定保持在石墨烯生长温度，进行石墨烯合成；所述装置设有脉冲激光单元、连续激光单元、二向色镜、光束整形与聚焦单元、真空腔、气体流量控制单元及三轴精密平移台，可实现任意石墨烯图形的快速制备。本发明使用较小的激光功率密度便可完成石墨烯图形的制备，有效降低了装置的成本，且由于脉冲激光加热速度快，热影响区小，有效提高了所制备的石墨烯图形的边缘质量及制备速度。
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