公开(公告)号：CN109706433A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201811474210.9

申请日：2018-12-04

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 杨迎 ,  乔飞扬 ,  卢雷 ,  韩平成 ,  葛德凯 ,  芮云军 ,  张正明

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/448

Abstract: 本发明公开了一种超声喷雾沉积薄膜装置和方法，装置包括支架上设置的第一导轨支架；第一导轨支架上设置第一步进电机及Y轴方向设置的第一导轨，第一步进电机可驱动第一滑块在第一导轨上进行Y轴方向位移；第一滑块上固定有第二导轨支架，第二导轨支架上设有第二步进电机和X轴方向设置的第二导轨，第二步进电机可驱动第二滑块进行X轴方向位移；第二滑块上设有伸缩杆；伸缩杆上设有储液瓶，储液瓶的瓶口设置超声波雾化片；各单元通过线路与设置于支架上的控制器连接。方法为通过在玻璃衬底上覆盖相应的钛金属掩膜板，再将前驱液雾化至已加热的玻璃衬底上得到纳米薄膜。本发明提供的装置成本低廉，适应不同薄膜前驱体，沉积薄膜形貌可控。

公开(公告)号：CN109706433B

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN201811474210.9

申请日：2018-12-04

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 杨迎 ,  乔飞扬 ,  卢雷 ,  韩平成 ,  葛德凯 ,  芮云军 ,  张正明

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/448

Abstract: 本发明公开了一种超声喷雾沉积薄膜装置和方法，装置包括支架上设置的第一导轨支架；第一导轨支架上设置第一步进电机及Y轴方向设置的第一导轨，第一步进电机可驱动第一滑块在第一导轨上进行Y轴方向位移；第一滑块上固定有第二导轨支架，第二导轨支架上设有第二步进电机和X轴方向设置的第二导轨，第二步进电机可驱动第二滑块进行X轴方向位移；第二滑块上设有伸缩杆；伸缩杆上设有储液瓶，储液瓶的瓶口设置超声波雾化片；各单元通过线路与设置于支架上的控制器连接。方法为通过在玻璃衬底上覆盖相应的钛金属掩膜板，再将前驱液雾化至已加热的玻璃衬底上得到纳米薄膜。本发明提供的装置成本低廉，适应不同薄膜前驱体，沉积薄膜形貌可控。

公开(公告)号：CN111623892A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN202010460999.3

申请日：2020-05-27

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 刘芳 ,  张勇 ,  杨迎 ,  徐钏 ,  陈鹏程 ,  王刘 ,  杨嘉欣

IPC: G01J9/02

Abstract: 本发明公开了一种用于时变随机信号测量的自适应光纤型马赫曾德干涉仪，其激光器发射激光由光纤准直器耦合进光纤内，并通过光纤传输至所述电光幅度调制器，第一信号发生器发出的信号输入至电光幅度调制器，第一光纤分束器一端接收电光幅度调制器发出的信号，另一端输出两路信号，一路依次经过第一电光相位调制器、第一移相器汇聚至第二光纤分束器，另一路依次经过第二电光相位调制器、第二移相器汇聚至第二光纤分束器，第一电光相位调制器还接收第二信号发生器发出的信号，第二光纤分束器的输出信号通过平衡探测器输出两路信号，一路通过第一锁相环反馈至所述第一移相器，另一路通过第二锁相环反馈至所述第二电光相位调制器。本发明对于时变随机相位的估计精度相比其他方式更高。

公开(公告)号：CN215235549U

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202120536556.8

申请日：2021-03-15

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 王道发 ,  杨迎 ,  黎兴燕

IPC: B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  B05C13/00

Abstract: 本实用新型属于机械与控制技术领域，具体涉及一种真空旋涂加热装置，包括旋转加热机构、减震机构、真空机构、测量机构、电源，旋转加热机构包括载物盘，载物盘顶面安装的加热片，加热片的导线焊接连接导电滑环，载物盘和导电滑环由上至下安装在不锈钢圆管上，不锈钢圆管侧面安装的光电标记外侧放置的光电门电性连接单片机，不锈钢圆管底端贯通固定底座且固定连接直流电机输出轴，固定底座通过减震垫连接桶体内底面，桶体顶端安装有玻璃盖板、侧面焊接有引线口、真空压力表、真空阀、进气阀，真空泵工作后可使桶体内部形成真空条件，碳刷可在不锈钢圆管带动加热片转动时为加热片提供电源，使本装置同时进行真空旋转加热。