一种无电极式半导体气体传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104614413A

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201510067819.4

    申请日:2015-02-09

    Abstract: 本发明公开了一种无电极式半导体气体传感器及其制备方法。采用无电极式设计,利用灵敏度高、导电性能好的胶态纳米晶复合材料制作气敏层,将其于室温下涂覆在绝缘衬底上形成器件,无需使用额外的信号电极,器件结构和工艺步骤简单,且利于降低成本,适于批量生产,而且适于制作成柔性气体传感器。本发明的气体传感器具有轻、薄、短、小和便携性好的特点,而且工作温度低,具有良好的应用前景。

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