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公开(公告)号:CN113146078B
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202110389186.4
申请日:2021-04-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/70 , B23K26/122 , B23K26/352
Abstract: 本发明公开了一种用于激光水下加工的气泡观测与消除装置、方法,属于特种加工中激光水下加工技术领域,包括超短脉冲激光水下加工单元、三向观测单元、液流循环单元、射流辅助单元、干风吹扫单元、超声振动单元和多能场控制单元,所述多能场控制单元处理气泡图像,调节液流循环单元、射流辅助单元、干风吹扫单元、超声振动单元参数,以达到气泡消除的最优态,以适应各种材料、不同激光加工参数下的超快激光水下微细加工。本发明精准观测激光水下加工气泡,利用流场‑声场的多能场耦合作用高效消除气泡,实现超短脉冲激光诱导等离子体高精度低损伤的微细加工。
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公开(公告)号:CN112519199B
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN202011271937.4
申请日:2020-11-13
Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于静电效应的多尺寸曲面贴合装置,其包括机架,机架上设置有翻转机构及移动机构,翻转机构包括第一支架,第一支架上卡持设置有翻转平台,翻转平台一侧面放置有基座,翻转平台另一侧面设置有第一静电覆膜装置;移动机构包括移动底板,移动底板上固定设置有移动台,移动台上设置有第二静电覆膜装置。本发明通过设置第一静电覆膜装置及第二静电覆膜装置,使得曲面构件与薄膜附带的静电极性相反,当移动台移送至翻转平台下方后,使得薄膜被曲面构件一侧吸附,实现薄膜与曲面构件的初步贴合操作,保证曲面构件与薄膜的贴合处无压痕,无气泡,有利于防止薄膜与曲面构件在二次贴合过程中有气泡附着,改善贴合质量,提高贴合合格率。
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公开(公告)号:CN113146078A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN202110389186.4
申请日:2021-04-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/70 , B23K26/122 , B23K26/352
Abstract: 本发明公开了一种用于激光水下加工的气泡观测与消除装置、方法,属于特种加工中激光水下加工技术领域,包括超短脉冲激光水下加工单元、三向观测单元、液流循环单元、射流辅助单元、干风吹扫单元、超声振动单元和多能场控制单元,所述多能场控制单元处理气泡图像,调节液流循环单元、射流辅助单元、干风吹扫单元、超声振动单元参数,以达到气泡消除的最优态,以适应各种材料、不同激光加工参数下的超快激光水下微细加工。本发明精准观测激光水下加工气泡,利用流场‑声场的多能场耦合作用高效消除气泡,实现超短脉冲激光诱导等离子体高精度低损伤的微细加工。
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公开(公告)号:CN111633288B
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN202010434533.6
申请日:2020-05-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种皮秒激光辅助电火花加工装置及方法,属于特种加工中激光加工与电火花加工复合技术领域,包括:磁场调控单元、皮秒激光诱导等离子体单元和电火花加工单元;磁场调控单元用于在通电后利用磁场调控等离子体羽流与等离子通道外形膨胀与收缩;皮秒激光诱导等离子体单元中皮秒激光器发出的激光经过可调光路转换组件后入射到待加工材料表面诱导产生等离子体;电火花加工单元中通过工作平台用于实现待加工材料沿X轴、Y轴、Z轴平移运动,工作电极在电机驱动下沿Z轴平移和旋转运动,并调节电极间隙,在电极间隙间施加电压触发电火花放电,对待加工材料进行加工。本发明可实现高效低损伤微细加工。
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公开(公告)号:CN111907050A
公开(公告)日:2020-11-10
申请号:CN202010776741.4
申请日:2020-08-05
Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种旋转多工位曲面贴合装置,其包括机架,机架上设置有加工平台,加工平台上设置有连接设置的曲面玻璃模组及薄膜模组,曲面玻璃模组包括第一轮盘,第一轮盘中部设置有第一传动轴,第一传动轴一端连接有第一驱动装置,第一轮盘上设置有推送装置、推送板及曲面玻璃模具,挡板设置在推送装置一端,曲面玻璃模具设置在推送板一侧;薄膜模组包括第二轮盘,第二轮盘中部设置有第二传动轴,第二传动轴一端连接有第二驱动装置,第二轮盘周缘间隔设置有多个凹槽,凹槽内卡持设置有薄膜模具。本发明通过曲面玻璃模组和薄膜模组随着旋转角度的变化,依次处于不同的工位,实现了曲面玻璃和薄膜的连续贴合过程,有效提高曲面玻璃和薄膜贴合工作效率。
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公开(公告)号:CN111873605A
公开(公告)日:2020-11-03
申请号:CN202010921541.3
申请日:2020-09-04
Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种机械爪辅助撕膜装置及撕膜机构,其包括机架,机架上设置有送料机构、夹持机构、烧蚀机构及撕膜机构,烧蚀机构包括激光发生器、激光反射模组及聚焦透镜,撕膜机构设置有第二滑块,第二滑块下方设置有撕膜模块,撕膜模块包括第二驱动装置、撕膜支架及机械手,第二驱动装置固定在第二滑块上,第二驱动装置一端设置有第二驱动杆。本发明通过设置烧蚀机构及撕膜机构,利用烧蚀机构的聚焦透镜对激光束进行聚焦,然后对夹持机构上的曲面玻璃的薄膜的四个角的位置进行烧蚀处理产生褶皱,最后利用撕膜机构的机械手分别将薄膜的四个角位置的褶皱进行夹持并将薄膜从曲面玻璃上撕取下来,有效提高了撕膜效率及质量。
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公开(公告)号:CN111907050B
公开(公告)日:2022-02-22
申请号:CN202010776741.4
申请日:2020-08-05
Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种旋转多工位曲面贴合装置,其包括机架,机架上设置有加工平台,加工平台上设置有连接设置的曲面玻璃模组及薄膜模组,曲面玻璃模组包括第一轮盘,第一轮盘中部设置有第一传动轴,第一传动轴一端连接有第一驱动装置,第一轮盘上设置有推送装置、推送板及曲面玻璃模具,挡板设置在推送装置一端,曲面玻璃模具设置在推送板一侧;薄膜模组包括第二轮盘,第二轮盘中部设置有第二传动轴,第二传动轴一端连接有第二驱动装置,第二轮盘周缘间隔设置有多个凹槽,凹槽内卡持设置有薄膜模具。本发明通过曲面玻璃模组和薄膜模组随着旋转角度的变化,依次处于不同的工位,实现了曲面玻璃和薄膜的连续贴合过程,有效提高曲面玻璃和薄膜贴合工作效率。
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公开(公告)号:CN112589261A
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:CN202011209948.X
申请日:2020-11-03
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种多能场辅助超短脉冲激光加工过程监测装置及方法,通过控制运动平台,使超短脉冲激光器发出的激光通过光路元件后聚焦在工件表面,以诱导等离子体进行微细加工;并在超短脉冲激光微细加工过程中引入声场‑磁场‑流场耦合作用,同时利用高倍率相机以及纹影仪观测不同时间和空间尺度下等离子体演变过程、气泡脉动过程以及材料去除过程,捕捉加工过程中流场、光场、声场的信号变化,并利用热像仪全方位观测加工区域和周围流体的温度场变化,最终实现多能场辅助超短脉冲激光微细加工状态的精确监测。本发明提供的多能场辅助超短脉冲激光加工过程监测装置有利于保证材料加工质量,提高产品合格率,并且尤其适用于微纳结构制造工艺。
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公开(公告)号:CN112519199A
公开(公告)日:2021-03-19
申请号:CN202011271937.4
申请日:2020-11-13
Applicant: 广东华中科技大学工业技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于静电效应的多尺寸曲面贴合装置,其包括机架,机架上设置有翻转机构及移动机构,翻转机构包括第一支架,第一支架上卡持设置有翻转平台,翻转平台一侧面放置有基座,翻转平台另一侧面设置有第一静电覆膜装置;移动机构包括移动底板,移动底板上固定设置有移动台,移动台上设置有第二静电覆膜装置。本发明通过设置第一静电覆膜装置及第二静电覆膜装置,使得曲面构件与薄膜附带的静电极性相反,当移动台移送至翻转平台下方后,使得薄膜被曲面构件一侧吸附,实现薄膜与曲面构件的初步贴合操作,保证曲面构件与薄膜的贴合处无压痕,无气泡,有利于防止薄膜与曲面构件在二次贴合过程中有气泡附着,改善贴合质量,提高贴合合格率。
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公开(公告)号:CN109343237B
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN201811529867.0
申请日:2018-12-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种锗硅量子阱电致折射率调制器和集成光电子器件,包括:P型硅衬底、P型锗硅合金缓冲层、本征锗硅合金下隔离层、本征锗硅合金耦合量子阱层、本征锗硅合金上隔离层、N型锗硅合金盖层,本征锗硅合金耦合量子阱层由多个非对称耦合量子阱组成,单个非对称耦合量子阱由两个不同宽度的量子阱、一个中间薄壁垒、两个侧边壁垒组成,相邻两个非对称耦合量子阱共用一个侧边壁垒区,两个侧边壁垒的锗硅合金组分配比相同,中间薄壁垒的Ge含量必须低于所述两个侧边壁垒。中间垒区Ge含量低的非对称耦合量子阱,势垒高度比两侧势垒区高,防止中间垒区两侧的量子阱在无外加电场时发生耦合,在加电场发生耦合时,对两个量子阱的耦合控制效果更好。
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