一种离子泵抽速测量装置
    11.
    实用新型

    公开(公告)号:CN219774378U

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202320855266.9

    申请日:2023-04-17

    Abstract: 本实用新型提供一种离子泵抽速测量装置,该离子泵抽速测量装置包括用以储存氢气的氢源罐;通过连接管与氢源罐连接的提纯器;以及四通连接件;所述四通连接件包括第一端口、第二端口、第三端口以及第四端口;所述第一端口与所述提纯器连接;所述第二端口用以连接标定过的离子泵;所述第三端口用以连接被测离子泵;所述第四端口上连接有真空阀门。该离子泵抽速测量装置能够测定氢原子频标所用离子泵的抽速,从而评估离子泵是否满足氢原子频标的设计要求。

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